VPM-7 SmartPirani ATM 傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)專為半導體(ti)負載(zai)鎖定(ding)(ding)壓(ya)力(li)控(kong)(kong)制和其(qi)他需要(yao)準(zhun)確測(ce)(ce)量(liang)相(xiang)對于大氣(qi)(qi)環境壓(ya)力(li)的(de)(de)真空應用而設(she)計(ji)。與傳(chuan)(chuan)統的(de)(de)負載(zai)鎖定(ding)(ding)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)和其(qi)他負載(zai)鎖定(ding)(ding)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)解決方(fang)案相(xiang)比(bi)，它(ta)具有(you)同類更高(gao)的(de)(de)性能，測(ce)(ce)量(liang)范(fan)圍(wei)更廣、精度更高(gao)、測(ce)(ce)量(liang)周期(qi)更快。SmartPirani ATM 基于一項正在(zai)申請許(xu)可的(de)(de)技術，該技術將導熱性皮拉(la)尼熱損(sun)失真空計(ji)的(de)(de)可用測(ce)(ce)量(liang)范(fan)圍(wei)擴大了 1-3 倍，從而確立(li)了新的(de)(de)標準(zhun)。 一體(ti)化(hua)多傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)解決方(fang)案，VPM-7 是一款多傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)，具有(you)四(si)個(ge)壓(ya)力(li)輸出，結合了氣(qi)(qi)壓(ya)環境傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)、寬量(liang)程熱損(sun)耗(hao)皮拉(la)尼真空計(ji)、膜片傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)和相(xiang)對于大氣(qi)(qi)壓(ya)力(li)的(de)(de)信號，可優化(hua)現(xian)代(dai)負載(zai)鎖定(ding)(ding)真空室的(de)(de)壓(ya)力(li)控(kong)(kong)制。隔膜傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的(de)(de)讀數不受氣(qi)(qi)體(ti)影響，Abs壓(ya)力(li)范(fan)圍(wei)為 2 至 1333 mbar。

超(chao)寬測量范圍(wei)達 9 個(ge)量程

準確的大氣開關功能

可靠的固(gu)態繼電器(qi)控(kong)制

氣壓環境壓力測量

0-10 VDC 可(ke)編程電壓輸出(chu)，可(ke)與其他供(gong)應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

StableZero 漂移(yi)補償

可直(zhi)接替(ti)換 MKS 901P

用于(yu)診斷的(de)真(zhen)空溫度傳感器

RGB LED 彩色(se)壓力指示燈

可選耐腐蝕版本

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓(ya) 12-30 VDC

4 電源電壓 -（返回）

5 模擬電壓(ya)信號(hao) +

6 模擬電壓信號 - （返回(hui)）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電(dian)器 1 公共(gong)端

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼電器 2 NC（常閉(bi)觸點）

11 繼電器 2 公共端

12 繼(ji)電器 2 常開(kai)（常開(kai)觸點(dian)）

13 繼電器 3 常開(kai)（常開(kai)觸(chu)點）或模(mo)擬輸出 2

14 繼電器 3 公共(gong)端(duan)

15 繼電器 3 常(chang)開（常(chang)開觸點(dian)）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至(zhi) 230 VAC）

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針 D 型超微(wei)，電源(yuan)（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針 D 型超微，電(dian)源(yuan) (90 至 230 VAC)

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托(tuo)）

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮拉(la)尼(ni)熱導率（熱損(sun)失）

測(ce)量原理 2 至 1,333 mbar：MEMS 壓(ya)電(dian)電(dian)阻(zu)膜片（與氣(qi)體無(wu)關）

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS 皮拉尼(ni)/壓電讀數

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至(zhi) 9.99 mbar：讀數的 5 %

精度 10.0 至 99.9 mbar：讀數的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數(shu)的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：讀(du)數的 0.25 %

精度 1,100 至 1,333 mbar：讀數的 0.5 %

Max測量分辨率：1.0E^-7 mbar

氣壓測量范圍：300 至 1,200 mbar

氣壓精(jing)度：+/- 0.5 mbar

大氣參考壓力(li)輸出(chu)范圍：-1333 至 + 300 mbar

真(zhen)空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85℃

真空溫度傳感器精(jing)度：+/- 1.5 ℃

傳(chuan)感(gan)器溫度傳(chuan)感(gan)器范(fan)圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫(wen)度(du)傳感器精度(du)：+/- 1.5 ℃

溫度補償：+10 至 +50 ℃

輸出信號 1：1 VDC / 十進制（1.0E^-6 mbar 時為 0.5VDC）

輸出信號 2（MKS 901P、910、925 仿真）：1 VDC /10 年（1.0E^-5 托時為 1.0 VDC）

輸出信(xin)號 3（MKS GP 275 Convectron）：0.375 至 5.659 VDC

輸出信號 4 (MKS 523)：0.5 VDC / 十(shi)進(jin)制 (MKS 523)

輸出信號(hao) 5 (Inficon PSG500, PSG502, PSG510, PSG512)：1.9 - 10 VDC (Inficon PSG55x, Leybold TTR91)

輸出信號 6 (Leybold TTR91, TTR96, TTR101)：1.5 至 8.5 VDC (Pfeiffer TPR260/27x/28x)

輸(shu)出信(xin)號 7（MKS GP 275 Convectron）：1.9 至 9.1 VDC

輸出信號(hao) 8 (MKS GP 390 MicroIon)：0.5 VDC / 10

輸出(chu)信(xin)號 9（MKS 971、972、974B）：0.5 VDC / 十進制（MKS 971B、972B、974B）

輸(shu)出信號 10（Inficon Gemini 輸(shu)出 1）：1 VDC / 十進制

輸(shu)出信(xin)號 11（Inficon Gemini 輸(shu)出 2）：1.33 VDC / 十(shi)進制(zhi)

輸(shu)出信號 12（Inficon Gemini 輸(shu)出 3）：0.6 VDC / 十進制(zhi)

輸出信號分辨率：16 位 (150 µV)

固(gu)態繼電器觸點額定值(zhi)（可(ke)選）：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器觸(chu)點耐久(jiu)性(xing)：無限(xian)制（無機械磨損）

工(gong)作環境溫(wen)度：-40 至 +50 ℃ (-40 至 +122 ℉)

介質溫度(du)：-20 至 +50 ℃ (-58 至 122 ℉)

存儲環(huan)境(jing)溫度：-40 至 +125 ℃ (-40 至 +257 ℉)

Max介質壓(ya)力(li)：10 bar

安裝位置：任意

防護等(deng)級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電(dian)(dian)源電(dian)(dian)壓：12 至(zhi) 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保(bao)險(xian)絲：100 mA（可熱恢復）

真空工藝法蘭材料：SS 1.4401 / AISI 316 不(bu)銹鋼

外(wai)殼材料(liao)：SS 1.4307 / AISI 304L 不銹鋼(gang) / 鋁 6061

真空暴露材料（介質潤濕）：316 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO₂、Si₃N₄、金、Viton、低放氣環氧樹脂、焊料、RO4305

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指(zhi)令(ling) 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令 2015/863

固態設定(ding)值(zhi)控制繼(ji)電器認證：UL 認證： 文件 E76270

CSA 認(ren)證(zheng)： 證(zheng)書(shu) 1175739：通(tong)過(guo) EN/IEC 60950-1 認(ren)證(zheng)

MTBF（平均故障(zhang)間隔時(shi)間）：13.092.170 小時(shi)/1494 年

故障率 FIT（及時(shi)故障，時(shi)間=10E+9 小時(shi)）：76,38

負載鎖控(kong)制(zhi)、半導體加(jia)工(gong)、PVD 涂層、分析(xi)儀(yi)器、真空(kong)爐、空(kong)間模(mo)擬