VPM-4 SmartPirani LT 傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)基于(yu)創紀錄的(de)(de) VPM-5 SmartPirani 傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)所(suo)使(shi)用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)熱損失傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)技(ji)術(shu)，測(ce)(ce)量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍為 13 至(zhi) 1E-6 mbar（10 至(zhi) 7.5E-7 torr）。該傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)技(ji)術(shu)將熱導真(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)的(de)(de)可(ke)(ke)用(yong)(yong)(yong)測(ce)(ce)量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍擴大了 1-3 倍，從(cong)而確立(li)了新的(de)(de)標準(zhun)。SmartPirani 基于(yu)新型的(de)(de) MEMS（微機(ji)電系統）傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)技(ji)術(shu)，結(jie)合(he)了數字(zi)信號處理架構和創新測(ce)(ce)量(liang)(liang)算法，只(zhi)有 Sens4 才能(neng)提(ti)供(gong)。SmartPirani LT 擴展了測(ce)(ce)量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍，可(ke)(ke)用(yong)(yong)(yong)于(yu)傳(chuan)(chuan)(chuan)統的(de)(de)熱陰(yin)極電離(li)真(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)或冷陰(yin)極電離(li)真(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)的(de)(de)測(ce)(ce)量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍。SmartPirani LT 針對低量(liang)(liang)程測(ce)(ce)量(liang)(liang)性能(neng)進行(xing)了優化，其(qi)上限(xian)測(ce)(ce)量(liang)(liang)范(fan)(fan)圍可(ke)(ke)達(da) 13 mbar（10 托）。 SmartPirani 傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)系列還包(bao)括全量(liang)(liang)程 VPM-5 SmartPirani（提(ti)供(gong) 2 至(zhi) 1333 mbar的(de)(de)獨立(li)氣體測(ce)(ce)量(liang)(liang)）和 VPM-7 SmartPirani ATM（進一步提(ti)供(gong)大氣開關(guan)功(gong)能(neng)）。用(yong)(yong)(yong)戶可(ke)(ke)通過 PC 或智能(neng)手機(ji)的(de)(de)數字(zi)通信接(jie)口(kou)(kou)對傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)設(she)(she)置和參數進行(xing)編(bian)(bian)程。帶(dai)有 RS-232 或 RS-485 串(chuan)行(xing)接(jie)口(kou)(kou)的(de)(de)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)可(ke)(ke)通過串(chuan)行(xing)接(jie)口(kou)(kou)或 S4-Connect 接(jie)口(kou)(kou)進行(xing)配置。數字(zi)接(jie)口(kou)(kou)可(ke)(ke)進行(xing)診斷、預(yu)測(ce)(ce)性維護、服務(wu)、校準(zhun)、設(she)(she)定點配置、模擬輸出(chu)縮(suo)放以及獲取實(shi)時真(zhen)(zhen)空(kong)壓力測(ce)(ce)量(liang)(liang)值，以便在屏幕(mu)上進行(xing)可(ke)(ke)視化。S4-Connect USB 編(bian)(bian)程器(qi)(qi)與免費、直觀的(de)(de)配置軟件相結(jie)合(he)，是一種即(ji)插即(ji)用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)解決方案，可(ke)(ke)用(yong)(yong)(yong)于(yu)傳(chuan)(chuan)(chuan)感器(qi)(qi)編(bian)(bian)程、實(shi)時測(ce)(ce)量(liang)(liang)和診斷。

測量范圍為 1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至 10 托(tuo)）

超寬量程高(gao)性(xing)能(neng) MEMS 皮(pi)拉(la)尼傳感器

創新數字信(xin)號處理  

可安裝在任何方向而不影響性能

可(ke)編程電壓輸(shu)出信號，可(ke)與其他(ta)供(gong)應商仿(fang)真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

低壓真空開關

用于真空過程控制的三個固態設(she)定點

10 bar（145 磅/平方英寸）的高過壓容限(xian)

堅固、緊湊的不銹鋼法(fa)蘭和外殼設計

15 引(yin)腳 HD D-sub RS-232 / RS-485 引(yin)腳說明

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電(dian)源電(dian)壓 12-30 VDC

4 電源電壓(ya) -（返回）

5 模擬電壓信號 +

6 模(mo)擬(ni)電壓信(xin)號 - （返(fan)回）

7 繼電(dian)器 1 NO（常開觸點(dian)）

8 繼電(dian)器 1 通用

9 繼電器(qi) 1 NC（常閉(bi)觸(chu)點）

10 繼電器(qi) 2 NC（常閉觸點）

11 繼電器(qi) 2 共用

12 繼電器 2 常(chang)開（常(chang)開觸點）

13 繼電(dian)器 3 常(chang)開（常(chang)開觸點）

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常開(kai)（常開(kai)觸點）

• CAL-VPM4-DAKKS DAkkS 實驗室認可的校準證書
• S4-Connect USB 編程器

PRG-S4-15DS-01 S4-Connect USB 編程器，15p HD D-sub 接口

PRG-S4-9DS-01 S4-Connect USB 編程器，9p D-sub 接頭

PRG-S4-RJ45-01 S4-Connect USB 編程(cheng)器(qi)，8 個 FCC68/RJ45 連(lian)接器(qi)

PRG-S4-HM-01 S4-Connect USB 編(bian)程(cheng)器, 6p 赫斯曼接口

• 用于 VPM-4 SmartPirani LT 傳感器的 USB 至串口轉換器（90-230 VAC 墻插供電）

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90-230VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 至 USB、15 針 HD D-sub、電源（90-230VAC）

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針(zhen) D 型(xing)超微，電源（90-230VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 轉 USB 通訊器，9 針 D-sub 接口，電源 (90-230VAC)

• USB 至串口轉換器，用于 VPM-4 SmartPirani LT 傳感器（USB 端口供電）

PRG-RS2-15DS-01 RS-232 通訊器 USB, 15p HD D-sub 接頭

PRG-RS4-15DS-01 RS-485 通(tong)訊器(qi) USB, 15p HD D-sub 接頭

PRG-RS2-9DS-01 RS-232 USB通訊器，9p高清(qing)D-sub接口(kou)

PRG-RS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB, 9p D-sub 接頭

• 電纜

CAB-F15DSM15DS-003 15p HD D-sub 母頭轉 15p D-sub 公頭，帶 3 米(mi)電纜

CAB-F15DSM15DS-005 15 p HD D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭，帶 5 m 電纜

CAB-F15DSM15DS-010 15 p HD D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭，帶 10 m 電纜

CAB-F9DSM15DS-003 9 p D-sub 母頭轉 15 p D-sub 公頭，帶 3 m 電纜

CAB-F9DSM15DS-005 9 p D-sub 母頭(tou)轉 15 p D-sub 公頭(tou)，帶 5 m 電(dian)纜

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 13.33 mbar（7.5×10^-7 至(zhi) 10.0 托）

測量原理 1×10^-6 至(zhi) 13.33 mbar：MEMS Pirani 熱導率(lv)

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-1 mbar：讀數的 5 %

精度(du) 1.00 至 13.33 mbar：讀數(shu)的 30 %

滯后 1×10^-3 至(zhi) 13.33 mbar：1 %

模擬輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬(ni)輸(shu)出更(geng)新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補償：+10 至(zhi) +50 ℃

固態繼電器設定點范圍：5×10^-6 至 13.33 mbar（3.75×10^-6 至 10.0 托）

固態(tai)繼電(dian)器觸(chu)點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電器認證(zheng)：UL 認證(zheng)： 文件 E76270；CSA 認證(zheng)： 證(zheng)書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證(zheng)

工(gong)作環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhi)溫度：-20 至 +50 ℃

存儲(chu)環境溫度：-40 至 +120 ℃

烘烤溫度（非工作(zuo)）：+120 ℃

Max介質壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕(shi)度，IEC 68-2-38：98 %，無(wu)冷凝

電(dian)源(yuan)電(dian)壓：12 至 30 VDC

功耗：240 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內(nei)部保險(xian)絲：100 mA（可熱恢(hui)復）

外殼(ke)材質：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空處理法蘭（介質浸濕）：不銹鋼 1.4307 / AISI 304L

真空外露材料（與介質接觸）：304L 不銹鋼、Kovar、玻璃、硅、鎳、鋁、SiO₂、Si₃N₄、金(jin)、氟橡膠、低放氣環氧樹脂

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合(he) RoHS：歐盟指令 2015/863

質譜儀、掃描電子顯微鏡、熔爐(lu)熱處理、玻璃、光學器件(jian)、工(gong)(gong)具等的 PVD 涂層、制(zhi)冷服務和制(zhi)造、半導體加(jia)工(gong)(gong)