VDM-2 陶瓷(ci)膜(mo)(mo)片真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)采(cai)用(yong)(yong)耐(nai)腐(fu)(fu)(fu)蝕(shi)的(de)(de)(de)(de)氧化(hua)鋁(lv)膜(mo)(mo)片,膜(mo)(mo)片可(ke)隨施加(jia)的(de)(de)(de)(de)壓(ya)力(li)而彎曲。核心壓(ya)力(li)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)元件(jian)(jian)采(cai)用(yong)(yong)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)測量(liang)法。膜(mo)(mo)片傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)測量(liang)的(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)氣(qi)(qi)體壓(ya)力(li)不受(shou)氣(qi)(qi)體類型(xing)或成(cheng)分的(de)(de)(de)(de)影響。與通常使(shi)用(yong)(yong)充油(you)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)元件(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)不銹鋼壓(ya)電(dian)(dian)(dian)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)相比(bi),陶瓷(ci)壓(ya)電(dian)(dian)(dian)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)元件(jian)(jian)清潔干燥,減免了污(wu)染真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系統的(de)(de)(de)(de)風險。電(dian)(dian)(dian)容式隔膜(mo)(mo)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji)在(zai)許多真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)應(ying)用(yong)(yong)中用(yong)(yong)于(yu)測量(liang)和(he)控制的(de)(de)(de)(de)過(guo)程。VDM-2 傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)是(shi)傳(chuan)(chuan)統 1000 托(tuo)/mbar 全量(liang)程電(dian)(dian)(dian)容式隔膜(mo)(mo)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計(ji) (CDG) 的(de)(de)(de)(de)替(ti)代(dai)產品,性(xing)(xing)價比(bi)高且結構緊湊。VDM-2 可(ke)用(yong)(yong)于(yu)可(ke)能存在(zai)腐(fu)(fu)(fu)蝕(shi)性(xing)(xing)氣(qi)(qi)體和(he)化(hua)學物(wu)質的(de)(de)(de)(de)苛(ke)刻(ke)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)應(ying)用(yong)(yong)中。陶瓷(ci)氧化(hua)鋁(lv)膜(mo)(mo)片具(ju)有良好的(de)(de)(de)(de)耐(nai)腐(fu)(fu)(fu)蝕(shi)性(xing)(xing),可(ke)抵御多種溶劑和(he)酸性(xing)(xing)物(wu)質。VDM-2 傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)還可(ke)選配(pei) Parylene 保護層,以防止(zhi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)材料受(shou)到(dao)腐(fu)(fu)(fu)蝕(shi)或氧化(hua)。Parylene 是(shi)一(yi)種獨(du)特的(de)(de)(de)(de)聚合物(wu),具(ju)有很強(qiang)的(de)(de)(de)(de)耐(nai)腐(fu)(fu)(fu)蝕(shi)性(xing)(xing)和(he)疏水性(xing)(xing),專門設計(ji)用(yong)(yong)于(yu)凍干和(he)過(guo)氧化(hua)氫(qing)等(deng)離子滅(mie)菌等(deng)應(ying)用(yong)(yong)。
測(ce)量范圍從 1.0E-1 到 1333 mbar,共 4 個量程
經濟(ji)實(shi)惠,可替(ti)代傳(chuan)統的 1000 托(tuo)全量程(cheng) CDG
整個壓(ya)力范圍內(nei)的(de)測量與氣(qi)體無(wu)關(guan)
耐腐(fu)蝕陶瓷或聚對(dui)二甲苯膜片(pian)
0-10 VDC 可編程電壓輸出
數字 RS-232 或 RS-485 接口
用于(yu)外(wai)部控制的可選固態(tai)設(she)定點繼電器
可直接替換其他(ta)供(gong)應(ying)商的真空計
15 引(yin)腳 HD D-sub RS-232 / RS-485
引腳說明
1 RS-232 發送(song) / RS-485 (-)
2 RS-232 接收(shou) / RS-485 (+)
3 電(dian)源電(dian)壓 12-30 VDC
4 電(dian)(dian)源電(dian)(dian)壓 -(返回)
5 模擬電壓(ya)信號 +
6 模擬電壓信號 - (返(fan)回)
7 繼電器 1 常(chang)開(kai)觸點(dian)
8 繼電器 1 公共端
9 繼(ji)電器 1 NC(常閉(bi)觸點)
10 繼電器 2 NC(常閉觸點)
11 繼電器 2 共用
12 繼電(dian)器 2 常開(常開觸(chu)點)
13 繼電器 3 常(chang)開(kai)(常(chang)開(kai)觸點)或(huo)模擬輸出 2
14 繼電器 3 共用
15 繼電器 3 常開(常開觸點(dian))
PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 至 USB,15 針 HD D-sub,電源(90 至 230 VAC)
PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉 USB,15 針(zhen) HD D-sub,電源(90 至 230 VAC)
PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB,9 針 D 型超微,電(dian)源(90 至 230 VAC)
PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊(xun)器(qi) USB,9 針(zhen) D-sub 接口(kou),電源(yuan)(90 至 230 VAC)
TVC-1-01 TrueVac 顯示單元
CBL-TVC1-9DS-02 電(dian)纜 TVC-1 至 9 針 D-sub, 2 米
CBL-TVC1-9DS-03 電纜(lan) TVC-1 至 9 針 D-sub, 3 米
CBL-TVC1-15HDS-02 電(dian)纜 TVC-1 至 15 HD 針 D-sub,2 米(mi)
CBL-TVC1-15HDS-03 電(dian)纜(lan) TVC-1 至(zhi) 15 HD 針 D-sub,3 米
CBL-TVC1-RJ45-02 電纜 TVC-1 至 RJ45,2 米
CBL-TVC1-RJ45-03 電(dian)纜(lan) TVC-1 至 RJ45,3 米
產地:丹麥
測(ce)量(liang)范圍:0.1 至(zhi) 1333 mbar(0.1 至(zhi) 1000 托)
測量原(yuan)理:陶瓷膜片壓(ya)電電阻(zu)式
精度 100 至 1333 mbar:讀數的 0.5 %
精度 1 至 99.9 mbar:滿刻度的(de) 0.05 % (1333 mbar)
磁滯 1×10-1 至(zhi) 10 mbar (ISO19685:2017):讀數的(de) 1 %
磁滯 10 至 1200 mbar(ISO19685:2017):讀數的 0.1 %
模擬輸出分辨率:16 位 (150 µV)
模擬輸出更新率:560 Hz
響應時間(ISO 19685:2017):< 20 ms
溫度補償:+10 至(zhi) +50 ℃
固態繼電器設(she)定(ding)點(dian)范(fan)圍:1 至(zhi) 1333 mbar(0.75 至(zhi) 1000 托)
固態(tai)繼電器(qi)觸(chu)點(dian)額定值:50 V、100 mArms / mADC
固(gu)態繼電(dian)器(qi)觸點耐久(jiu)性:無限(xian)制(無機械磨損)
固(gu)態繼電器認(ren)證(zheng):UL 認(ren)證(zheng): 文件(jian) E76270;CSA 認(ren)證(zheng): 證(zheng)書 1175739;EN/IEC 60950-1 認(ren)證(zheng)
工作環(huan)境溫度:-20 至 +50 ℃
介(jie)質溫度:-20 至 +50 ℃
儲存環境(jing)溫度:-40 至 +80 ℃
烘烤溫度(非工作):+80 ℃
Max介質壓力:2 巴壓力Abs(29 psia)
爆破壓力:壓力Abs 4 巴(58 psia)
安裝位置:任意
防護等(deng)級,EN 60529/A2:2013:IP40
濕(shi)度,IEC 68-2-38:98 %,無冷凝
電(dian)源電(dian)壓(ya):12 至 30 VDC
功耗:240 mW(Max值)
反限性保護:是
過壓保護:是
內部(bu)保險絲:100 mA(熱敏;可恢復)
外(wai)殼:SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061
真空處(chu)理法蘭(介(jie)質浸濕):不銹鋼 1.4401 / AISI 316
真空暴露材料(liao)(與介(jie)質接觸) 標準型:316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁 (AI2O3 96%)
真空暴露材料(與介質接(jie)觸) 聚對二甲苯(ben)(ben)保(bao)護型:316 不銹(xiu)鋼、氟(fu)橡膠、聚對二甲苯(ben)(ben)
工藝泄漏密封性:<1-10-9 mbar-l/s
CE:EMC 指令 2014/30/EU
符合 RoHS 指令:歐盟指令 2015/863
半導體加(jia)工(gong)、PVD 涂層、CVD 加(jia)工(gong)、器械滅菌、短(duan)程蒸餾、真空爐、冷凍干(gan)燥