iVacSens 系列真(zhen)空(kong)(kong)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)模塊(kuai)是(shi)很(hen)小的(de)(de)寬量(liang)程多功(gong)(gong)能組合真(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)。iVacSens 具有全功(gong)(gong)能傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong)(tong)真(zhen)空(kong)(kong)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)的(de)(de)功(gong)(gong)能，校準后即(ji)可(ke)交付(fu)使(shi)用(yong)。它(ta)專(zhuan)為在真(zhen)空(kong)(kong)下操作(zuo)的(de)(de)儀器(qi)(qi)(qi)(qi)（如質譜(pu)儀和掃描電子(zi)顯微鏡）中的(de)(de)高等級設(she)(she)備集成而設(she)(she)計(ji)(ji)(ji)。iVacSens 基于創紀錄的(de)(de) SmartPirani MEMS 熱損失傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)，與(yu)(yu)傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong)(tong)的(de)(de)皮拉尼真(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)和對流真(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)相比，具有同類更(geng)好的(de)(de)性(xing)能、更(geng)寬的(de)(de)測(ce)量(liang)范圍和更(geng)高的(de)(de)精度(du)。SmartPirani 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)技術與(yu)(yu)隔膜(mo)(mo)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)相結合，可(ke)在 2 至 1,333 mbar范圍內進行不受氣體影響的(de)(de)測(ce)量(liang)。iVacSens ATM 具有內置(zhi)大氣開關功(gong)(gong)能，可(ke)通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)相對氣壓準確(que)控(kong)制真(zhen)空(kong)(kong)系統(tong)(tong)排氣至大氣壓。iVacSens ATM 包含(han)一(yi)(yi)個(ge)熱損耗 MEMS Pirani 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)、一(yi)(yi)個(ge)Abs膜(mo)(mo)片傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)、一(yi)(yi)個(ge)氣壓傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)、一(yi)(yi)個(ge)真(zhen)空(kong)(kong)溫(wen)(wen)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)和一(yi)(yi)個(ge)環境溫(wen)(wen)度(du)傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)。所(suo)有傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)(qi)(qi)測(ce)量(liang)值(zhi)均可(ke)通(tong)過(guo) UART 或(huo) RS-485 數字接口(kou)訪問。溫(wen)(wen)度(du)參數可(ke)用(yong)于在設(she)(she)備過(guo)熱時發出關閉(bi)設(she)(she)備的(de)(de)警(jing)告或(huo)控(kong)制信號，或(huo)作(zuo)為計(ji)(ji)(ji)算設(she)(she)備預測(ce)性(xing)維護的(de)(de)參數。

超寬測(ce)量范(fan)圍達 9 個量程

大氣開關功能

用于過程控(kong)制的 3 個數字(zi)設定點輸出

氣壓環境壓力測量

模擬電壓輸出

數字 UART 接口(kou)

數字 RS-485 接口

遠程零點調整

用(yong)于診斷的真空溫度傳(chuan)感器

超緊湊設計

連(lian)接器引(yin)腳引(yin)出（10 針 0.5 毫米間距） FCC) 引(yin)腳說明(ming)

1 電源電壓(ya) -（返回(hui)）

2 電源電壓 3.3 VDC 或 4-18 VDC(2)

3 模擬電(dian)壓(ya)信號 -（返回）

4 模擬電壓信(xin)號 +

5 設定(ding)點 3 輸出

6 設定點 2 輸出

7 設定點 1 輸出

8 UART 接收(shou)或 RS-485 B

9 UART 發送或 RS-485 A

10 遠程零點輸入

iVacSens 連接電纜(lan) 產品編號

FCC 扁平電(dian)纜 0.5 mm 間距(ju) 10 針 30 mm 長(chang) CAB-FCC10P-030

FCC 扁平電(dian)纜 0.5 mm 間距(ju) 10 針 50 mm 長 CAB-FCC10P-050

FCC 扁平(ping)電纜 0.5 mm 間距 10 引(yin)腳 100 mm 長 CAB-FCC10P-100

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 150 mm 長 CAB-FCC10P-150

FCC 扁平電纜 0.5 mm 間(jian)距 10 引腳 200 mm 長 CAB-FCC10P-200

FCC 扁(bian)平電纜 0.5 mm 間距 10 引腳 300 mm 長 CAB-FCC10P-300

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1,333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

測量原理 1×10^-6 至 1.5 mbar：MEMS 皮(pi)拉尼熱(re)導率

測(ce)量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀(du)數

測(ce)量(liang)原(yuan)理 2 至(zhi) 1,333 mbar：MEMS 壓電(dian)電(dian)阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至(zhi) 9.99 mbar：讀數(shu)的(de) 5 %

精度 10.0 至(zhi) 99.9 mbar：讀數的 1 %

精度 100 至 800 mbar：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1,099 mbar：讀數的(de) 0.25 %

精度 1,100 至 1,200 mbar：讀(du)數的 0.5 %

磁滯 1×10^-3 至 10 mbar (ISO 19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1,200 mbar（ISO 19685:2017）：0.1 %

氣壓(ya)測量范(fan)圍(wei)：300 至(zhi) 1,200 mbar

氣(qi)壓精度(du)：+/- 0.5 mbar

大氣參考(kao)壓力輸(shu)出范圍：-1,333 至(zhi) + 1,333 mbar

真空(kong)溫度傳感器范(fan)圍：-20 至 + 85 ℃

真(zhen)空溫(wen)度傳感(gan)器精(jing)度：+/- 1.5 ℃

傳感器溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳感器溫度(du)傳感器精(jing)度(du)：+/- 1.5 ℃

模(mo)擬(ni)輸出：0.2 至 1.55 VDC（150 mV/十進制mbar/托）

模擬(ni)輸出分辨率(lv)：12 位

模擬輸出(chu)更新率：124 Hz

響應時(shi)間(jian)：< 20 ms

溫(wen)度補償：+10 至 +50 ℃

設定點范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1,333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托(tuo)）

設定點(dian)范圍（相對大氣壓）：-1,100 至(zhi) + 500 mbar（-770 至(zhi) +375 托）

設定(ding)點輸出高(gao)電平：> 2.9 VDC

設(she)定點輸出低電(dian)平：< 0.4 VDC

設(she)定點輸出源電(dian)(dian)流(liu)和灌電(dian)(dian)流(liu)：Max 1 mA

工作(zuo)環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至(zhi) +50 ℃

存儲環境溫度：-40 至 +120 ℃

烘(hong)烤溫度（非工作(zuo)）：+120 ℃

Max介質壓力_Abs：10 bar

安裝位置：任意

防護等(deng)級(ji)，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕(shi)度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電(dian)源電(dian)壓(ya)：+3.3 VDC 或 4 至 18 VDC

功耗：25 mW（Max值(zhi)）3.3 VDC 電源(yuan)；95 mW（Max值(zhi)）4 至 18 VDC 電源(yuan)

限性反接保護：無

過壓保護：無

傳感器泄漏密封性（ISO 27895:2009）：<1-10^-9 mbar-l/sec

符合 RoHS 規(gui)范(fan)：歐盟指令 EU 2015/863

質(zhi)譜儀、掃(sao)描電(dian)子顯微(wei)鏡、真空泵(beng)集(ji)成、閥門(men)集(ji)成、太空飛行、泄漏檢(jian)測、飛輪(lun)儲能、真空開關