VDM-5 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)為各(ge)種真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空應用提供了一體(ti)化(hua)測量(liang)解決方案，確立(li)了新(xin)的(de)(de)標(biao)準。與其他(ta)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計不同(tong)的(de)(de)是，VDM-5 可(ke)(ke)在 5.0E-3 至 1333 mbar范(fan)圍(wei)內(nei)進(jin)行(xing)不依賴(lai)(lai)于氣(qi)體(ti)的(de)(de)整(zheng)體(ti)測量(liang)，具(ju)有(you)很高的(de)(de)性價比(bi)。在氣(qi)體(ti)成分或類型(xing)(xing)可(ke)(ke)能發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空應用中，傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong)的(de)(de)氣(qi)體(ti)依賴(lai)(lai)型(xing)(xing)皮拉(la)尼真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計會導致測量(liang)結果與實際壓(ya)(ya)力(li)(li)存(cun)在偏差。VDM-5 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)采(cai)用電容(rong)(rong)式(shi)(shi)膜片(pian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空計 (CDG) 傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)，減免(mian)了對氣(qi)體(ti)的(de)(de)依賴(lai)(lai)性，在氣(qi)體(ti)性質(zhi)發(fa)生(sheng)變(bian)化(hua)時也(ye)能提供準確的(de)(de)測量(liang)。集(ji)成的(de)(de)熱損耗 MEMS 皮拉(la)尼傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)將測量(liang)范(fan)圍(wei)擴(kuo)展至 1E-6 mbar，并提供了一種新(xin)穎的(de)(de)電容(rong)(rong)式(shi)(shi)壓(ya)(ya)力(li)(li)計自動零點調整(zheng)功能，從而減免(mian)了傳(chuan)(chuan)(chuan)統(tong)電容(rong)(rong)式(shi)(shi)膜片(pian)壓(ya)(ya)力(li)(li)計手動零點調整(zheng)的(de)(de)常見需求。用戶可(ke)(ke)對傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)設置和(he)參數(shu)進(jin)行(xing)編(bian)程(cheng)，以(yi)控制真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空系(xi)統(tong)和(he)應用過程(cheng)參數(shu)。數(shu)字 RS-232 或 RS-485 串行(xing)接(jie)口可(ke)(ke)用于診(zhen)斷(duan)、預測性維護、服務、校準、設定點配置、模擬(ni)輸出縮放(fang)，以(yi)及獲取實時真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空壓(ya)(ya)力(li)(li)測量(liang)值，以(yi)便(bian)在屏(ping)幕(mu)上進(jin)行(xing)可(ke)(ke)視(shi)化(hua)。串行(xing) USB 編(bian)程(cheng)器(qi)與免(mian)費(fei)、直(zhi)觀的(de)(de)配置軟件相結合(he)，為傳(chuan)(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)編(bian)程(cheng)、實時測量(liang)和(he)診(zhen)斷(duan)提供了即插即用的(de)(de)解決方案。

測量范圍為 5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至(zhi) 1000 托(tuo)）

與(yu)氣體無關的隔膜(mo)傳感器

陶(tao)瓷(ci)電容隔(ge)膜真空計和壓(ya)電隔(ge)膜   

可安裝(zhuang)在任何方向而不影響性能(neng)。

可編程電(dian)壓(ya)輸出信號，可與其(qi)他供(gong)應商仿真

數字 RS-232 或 RS-485 接口

用于(yu)真空過(guo)程控制(zhi)的三個固態設(she)定點

可選配用于侵蝕(shi)性環境的(de)聚對二(er)甲苯傳感器涂層

經(jing)濟(ji)實(shi)惠的(de)緊湊型(xing)多傳感器解(jie)決方案

15 引腳 HD D-sub RS-232 / RS-485引腳說明

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接(jie)收 / RS-485 (+)

3 電(dian)源電(dian)壓 12-30 VDC

4 電源(yuan)電壓 -（返回）

5 模擬(ni)電(dian)壓信號 +

6 模擬電壓信號 - （返回）

7 繼電(dian)器(qi) 1 常開(kai)觸點

8 繼電器 1 公共端

9 繼電器 1 NC（常閉(bi)觸(chu)點(dian)）

10 繼電(dian)器(qi) 2 NC（常閉觸點）

11 繼電(dian)器 2 共用(yong)

12 繼(ji)電(dian)器 2 常開（常開觸(chu)點）

13 繼電器 3 常開（常開觸點）  或模擬輸出 2

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 常(chang)開（常(chang)開觸點）

RS-232 / RS-485 轉(zhuan) USB 轉(zhuan)換(huan)器，帶墻插(cha)電源

用于 VPM-5 SmartPirani 傳感(gan)器的 USB 轉串口(kou)轉換器，帶墻插電源(yuan)。

部件號 說明

PRG-WPRS2-15DS-01 RS-232 轉 USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS4-15DS-01 RS-485 轉 USB, 15 針 HD D-sub, 電源 (90 至 230 VAC)

PRG-WPRS2-9DS-01 RS-232 轉 USB，9 針(zhen) D 型超微，電(dian)源（90 至 230 VAC）

PRG-WPRS4-9DS-01 RS-485 通訊器 USB，9 針(zhen) D 型超微，電源 (90 至 230 VAC)

產地：丹麥

測量范圍：5×10^-3 至 1333 mbar（3.75×10^-3 至 1000 托）

測量原理 5×10^-3 至(zhi) 3.99 mbar：電容式隔膜真空計 (CDG)

測量原(yuan)理 4 至 5 mbar：混合 CDG / 壓電讀(du)數

測量(liang)原(yuan)理 5 至 1333 mbar：MEMS 壓(ya)電(dian)(dian)電(dian)(dian)阻膜片

精度 5×10^-2 至 800 mbar：讀數(shu)的 0.5 %

精度(du) 800 至 1099 mbar：讀數的 0.25 %

精(jing)度 1100 至(zhi) 1200 mbar：讀數(shu)的(de) 0.5 %

精度 100 至(zhi) 800 mbar：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1099 mbar：讀(du)數的 0.25 %

精度 1100 至 1200 mbar：讀數的(de) 0.5 %

磁滯 1×10^-2 至 10 mbar (ISO19685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1200 mbar（ISO19685:2017）：0.1 %

真空溫度傳感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳感器精(jing)度：+/- 1.5 ℃

傳感(gan)器溫度傳感(gan)器范圍：-20 至 + 85 ℃

傳(chuan)感器(qi)溫(wen)度傳(chuan)感器(qi)精(jing)度：+/- 1.5 ℃

模擬(ni)輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率：124 Hz

響(xiang)應時(shi)間（ISO 19685:2017）：< 20 ms

溫度補償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托）

固(gu)態繼電器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態繼電(dian)器觸點耐(nai)久性：無限制（無機械磨損）

固態繼電(dian)器(qi)認(ren)(ren)證(zheng)(zheng)：UL 認(ren)(ren)可： 文件 E76270；CSA 認(ren)(ren)證(zheng)(zheng)： 證(zheng)(zheng)書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(ren)(ren)證(zheng)(zheng)

工作(zuo)環境溫度：-20 至 +50 ℃

介質(zhi)溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環境溫度：-40 至 +80 ℃

烘(hong)烤溫度(du)（非(fei)工(gong)作）：+80 ℃

Max介質壓力_Abs：4 bar

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕(shi)度(du)，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝(ning)

電源(yuan)電壓：12 至(zhi) 30 VDC

功耗(hao)：240 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險絲：100 mA（可熱(re)恢復）

外殼材料：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁(lv) 6061

真(zhen)空處(chu)理法蘭（介質浸濕）：不銹鋼 1.4401 / AISI 316

真空(kong)暴露材料(liao)(liao)（與介質接觸） 標準(zhun)版本：316 不(bu)銹(xiu)鋼(gang)、氟橡膠、硅、玻璃硅石(shi)、低放(fang)氣環氧樹(shu)脂(zhi)、焊料(liao)(liao)、RO4305

真(zhen)空暴露材料（與(yu)介質潤濕） 聚(ju)(ju)對二(er)甲苯保護型：316 不銹(xiu)鋼、氟橡膠、聚(ju)(ju)對二(er)甲苯

真空暴露材料（與介質潤濕）陶瓷保護型：316 不銹鋼、氟橡膠、氧化鋁陶瓷 (AI₂O₃)

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

CE：EMC 指令 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟(meng)指令 2015/863

器(qi)械滅菌、半導(dao)體加工、PVD 涂層、CVD 加工、分析儀(yi)器(qi)、真空爐、空間模擬