VPM-15 TriCAP 傳(chuan)感器(qi)(qi)為(wei)各種(zhong)真空(kong)(kong)(kong)(kong)應用(yong)提供(gong)了一(yi)體化寬量(liang)程測(ce)量(liang)解(jie)決方案(an)，從而(er)(er)確立了新的(de)(de)標準。與(yu)其他真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)不(bu)同的(de)(de)是(shi)，它(ta)具有成(cheng)本效益，測(ce)量(liang)范圍(wei)從 5.0E-3 到 1333 毫(hao)巴，不(bu)依(yi)賴于氣(qi)體，同時(shi)還能利(li)用(yong)熱損失原理測(ce)量(liang)低至(zhi)(zhi) 1E-6 毫(hao)巴的(de)(de)真空(kong)(kong)(kong)(kong)。在氣(qi)體成(cheng)分或(huo)類型可能發生變化的(de)(de)真空(kong)(kong)(kong)(kong)應用(yong)中，傳(chuan)統的(de)(de)氣(qi)體依(yi)賴型皮拉尼真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)會(hui)導致測(ce)量(liang)結果與(yu)實際(ji)壓(ya)(ya)力(li)(li)存(cun)在偏差。TriCAP 傳(chuan)感器(qi)(qi)采用(yong)電(dian)容(rong)(rong)式(shi)膜(mo)片真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji) (CDG) 傳(chuan)感器(qi)(qi)，減免了對氣(qi)體的(de)(de)依(yi)賴性(xing)，在氣(qi)體性(xing)質發生變化時(shi)也能提供(gong)準確的(de)(de)測(ce)量(liang)。集成(cheng)的(de)(de)熱損耗 MEMS Pirani 傳(chuan)感器(qi)(qi)將測(ce)量(liang)范圍(wei)擴展至(zhi)(zhi) 1E-6 mbar，并提供(gong)新穎的(de)(de)電(dian)容(rong)(rong)式(shi)壓(ya)(ya)力(li)(li)計(ji)(ji)自動調(diao)零功能，從而(er)(er)消除了傳(chuan)統電(dian)容(rong)(rong)式(shi)膜(mo)片真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)手動調(diao)零的(de)(de)常見需(xu)求(qiu)。VPM-15 TriCAP 是(shi)一(yi)款(kuan)新型多(duo)傳(chuan)感器(qi)(qi)真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)，是(shi)傳(chuan)統皮拉尼真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)應用(yong)的(de)(de)性(xing)能升(sheng)級之選，也是(shi)使(shi)用(yong)單獨電(dian)容(rong)(rong)式(shi)壓(ya)(ya)力(li)(li)計(ji)(ji)和(he)皮拉尼真空(kong)(kong)(kong)(kong)計(ji)(ji)的(de)(de)應用(yong)的(de)(de)成(cheng)本優(you)化型一(yi)體化解(jie)決方案(an)。

測量范圍從 1×10^-6 到 1333 毫巴（7.5×10^-7 到(dao) 1000 托(tuo)）

與氣體無關的傳感器，測量范圍從 5×10^-3 到 1333 毫(hao)巴(ba)

超寬量程高(gao)性能 MEMS 皮拉尼傳感器

堅固耐用的(de)陶(tao)瓷電容隔膜(mo)真(zhen)空計   

可安裝在(zai)任何方(fang)向而(er)不影響性能

可(ke)編程(cheng)電壓輸出信號，可(ke)與其他(ta)供應商仿(fang)真(zhen)

數(shu)字 RS-232 或 RS-485 接口

用于真(zhen)空過程(cheng)控制的三個(ge)固態設定點

可(ke)直接替換 MKS 925 MicroPirani 和 910

緊湊型(xing)多傳感器解決方案

1 RS-232 發送(song) / RS-485 (-)

2 RS-232 接(jie)收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電(dian)源電(dian)壓 -（返回）

5 模擬電壓信號(hao) +

6 模擬(ni)電(dian)壓信號(hao) - （返回）

7 繼電器 1 NO（常開觸點）

8 繼電器 1 公(gong)共端

9 繼(ji)電器(qi) 1 NC（常閉觸點）

10 繼(ji)電器 2 NC（常閉觸點(dian)）

11 繼(ji)電器 2 公共端

12 繼電器 2 常開(kai)（常開(kai)觸點）

13 繼電(dian)器 3 NC（常閉觸點）

14 繼電器(qi) 3 公共端

15 繼(ji)(ji)電器 3 常開（常開觸點） 可選繼(ji)(ji)電器

編程設備

RS-232 轉 USB，15 針(zhen) HD D-sub，電源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 編程器(qi)，1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 編程器，1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485

校準證書

DAkkS 實驗室(shi)認可的校(xiao)準證書。cal-vpm15-dakss

電纜

15 針(zhen) HD D-sub 母(mu)頭至(zhi) 15 針(zhen) D-sub 公頭，帶 3 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-003

15 針(zhen) HD D-sub 母頭(tou)轉 15 針(zhen) D-sub 公頭(tou)，帶 5 米電纜(lan) CAB-F15DSM15DS-005

15 針 HD D-sub 母頭(tou)轉 15 針 D-sub 公頭(tou)，帶 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mabr（7.5×10^-7 至(zhi) 1000 托(tuo)）

測量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mabr：MEMS 皮拉尼熱導率

測量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mabr：混合(he) MEMS 皮(pi)拉尼/CDG 讀(du)數(shu)

測量原理 5.0×10^-3 至(zhi) 3.99 mbar：電容式隔膜(mo)真(zhen)空(kong)計(ji) (CDG)

測(ce)量(liang)原理 4 至 6 mbar：混(hun)合 MEMS 壓電 / CDG

測量原理 6 至 1333 mbar：MEMS 壓電(dian)(dian)電(dian)(dian)阻(zu)膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數的 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mabr：讀數的 5 %

精度 1E-2 至(zhi) 800 mabr：讀數的 0.5 %

精度 800 至 1099 mabr：讀數的 0.25 %

精(jing)度 1100 至 1200 mabr：讀數(shu)的 0.5 %

真空溫度傳(chuan)感器范圍：-20 至 + 85 ℃

真空溫度(du)傳(chuan)感器(qi)精度(du)：+/- 1.5 ℃

模擬(ni)輸出分辨率：16 位 (150 µV)

模(mo)擬輸出更(geng)新率(lv)：124 Hz

響應(ying)時間：< 20 ms

溫(wen)度補(bu)償(chang)：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mabr（3.75×10^-6 至 1000 托）

固(gu)態(tai)繼電(dian)器觸點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固(gu)態繼(ji)電(dian)器觸點(dian)耐久(jiu)性：無(wu)限(xian)制（無(wu)機械磨損）

固(gu)態(tai)繼(ji)電器認(ren)證(zheng)：UL 認(ren)可：文件 E76270；CSA 認(ren)證(zheng)：證(zheng)書 1175739；EN/IEC 60950-1 認(ren)證(zheng)

工(gong)作(zuo)環境溫度(du)：-20 至 +50 ℃

介質溫度：-20 至 +50 ℃

存儲環境(jing)溫度：-20 至 +80 ℃

烘烤溫度（非工作）：+80 ℃

Max介質壓力：4 巴壓力_Abs

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕(shi)度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電(dian)源電(dian)壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內(nei)部(bu)保險絲：100 mA（可熱恢復）

PVD 涂(tu)層、冷凍干(gan)燥終點(dian)檢測、熔(rong)爐熱(re)處理(li)、皮拉尼校準、質譜儀、掃描電子顯微(wei)鏡