VPM-17 TriCAP ATM 傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)為廣泛(fan)的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)應用(yong)(yong)(yong)建立了一體(ti)化測(ce)(ce)量解決方案的(de)(de)新標準。與(yu)其他(ta)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji)不(bu)同的(de)(de)是，它結(jie)合皮(pi)拉(la)(la)尼熱損(sun)耗(hao)測(ce)(ce)量（低至 1E-6 mbar），提供(gong)從(cong) 5.0E-3 到(dao) 1333 mbar 的(de)(de)高性(xing)價比氣體(ti)獨立測(ce)(ce)量。在(zai)氣體(ti)成(cheng)分(fen)或類型(xing)可能(neng)發生變化的(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)應用(yong)(yong)(yong)中，傳(chuan)(chuan)統的(de)(de)依(yi)(yi)賴氣體(ti)的(de)(de)皮(pi)拉(la)(la)尼真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji)會導致測(ce)(ce)量結(jie)果(guo)與(yu)實(shi)際壓(ya)力產生偏差(cha)。然而(er)，TriCAP ATM 傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)采用(yong)(yong)(yong)了電容(rong)(rong)式膜(mo)片真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji) (CDG) 傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)，由于(yu)不(bu)依(yi)(yi)賴于(yu)氣體(ti)成(cheng)分(fen)，因(yin)此即使氣體(ti)性(xing)質(zhi)發生變化，也(ye)能(neng)確保測(ce)(ce)量精度。集成(cheng)的(de)(de)熱損(sun)耗(hao) MEMS Pirani 傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)將測(ce)(ce)量范圍擴展至 1E-6 mbar，并提供(gong)新穎的(de)(de)電容(rong)(rong)式壓(ya)力計(ji)(ji)(ji)(ji)自動調(diao)(diao)零功(gong)能(neng)，從(cong)而(er)減免了傳(chuan)(chuan)統電容(rong)(rong)式膜(mo)片真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji)手動調(diao)(diao)零的(de)(de)常見需求。TriCAP ATM 是一款新型(xing)多傳(chuan)(chuan)感(gan)器(qi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji)，是傳(chuan)(chuan)統皮(pi)拉(la)(la)尼真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji)應用(yong)(yong)(yong)的(de)(de)性(xing)能(neng)升級(ji)之選，也(ye)是在(zai)單獨使用(yong)(yong)(yong)電容(rong)(rong)式壓(ya)力計(ji)(ji)(ji)(ji)和皮(pi)拉(la)(la)尼真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)計(ji)(ji)(ji)(ji)的(de)(de)應用(yong)(yong)(yong)中成(cheng)本優化的(de)(de)一體(ti)化解決方案。

測量范圍為 1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至 1000 托）

與氣體無關的傳感器，測量范圍從 5×10^-3 到 1333 mbar

超寬量程高性能 MEMS 皮拉尼傳(chuan)感(gan)器

堅(jian)固耐用的陶瓷電容隔(ge)膜真空計   

環境壓力參考輸出信號(hao)

大氣開關功能

可安裝在任何方向而不影響(xiang)性(xing)能

可(ke)編程電壓輸出信號，可(ke)與其他供應商仿真(zhen)

數字(zi) RS-232 或 RS-485 接(jie)口

用于真(zhen)空(kong)過程控制的三個(ge)固態設(she)定點

可直接替換 MKS 901P Loadlock 傳(chuan)感器(qi)

緊湊型多傳感器解決(jue)方(fang)案(an)

1 RS-232 發送 / RS-485 (-)

2 RS-232 接收 / RS-485 (+)

3 電源電壓 12-30 VDC

4 電源電壓(ya) -（返回）

5 模擬(ni)電壓信號(hao) +

6 模擬電壓信(xin)號 - （返(fan)回）

7 繼電器 1 NO（常開觸(chu)點）

8 繼(ji)電器 1 通用

9 繼電器 1 NC（常閉觸點）

10 繼(ji)電器 2 NC（常閉觸點）

11 繼電(dian)器 2 共(gong)用

12 繼(ji)電器 2 NO（常開觸點）

13 繼電(dian)器(qi) 3 NC（常閉觸點）

14 繼電器 3 共用

15 繼電器 3 NO（常開觸點）

編程設備

RS-232 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC）PRG-WPRS2-15DS-01

RS-485 轉 USB，15 針 HD D-sub，電源（90-230VAC） PRG-WPRS4-15DS-01

RS-232 USB 編(bian)程(cheng)器，1.5 米電纜 PRG-RS232-DS15 RS-232

RS-485 USB 編程器(qi)，1.5 米電纜 PRG-RS485-DS15 RS-485

校準證書

DAkkS 實驗室認可的校準證(zheng)書。cal-vpm17-dakss

電纜

15 針 HD D-sub 母(mu)頭至 15 針 D-sub 公頭，帶 3 m 電(dian)纜 CAB-F15DSM15DS-003

15 針(zhen) HD D-sub 母(mu)頭(tou)轉 15 針(zhen) D-sub 公(gong)頭(tou)，帶 5 米電纜(lan) CAB-F15DSM15DS-005

15 針 HD D-sub 母頭轉 15 針 D-sub 公頭，帶(dai) 10 m 電纜 CAB-F15DSM15DS-0105

產地：丹麥

測量范圍：1×10^-6 至 1333 mbar（7.5×10^-7 至(zhi) 1000 托(tuo)）

測量原理 1×10^-6 至 1×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼熱導率

測量原理 1×10^-3 至 4.99×10^-3 mbar：MEMS 皮拉尼(ni)/CDG 混(hun)合(he)讀數

測量原理 5.0×10-3 至 3.99 mbar：電(dian)容式(shi)隔膜真空計 (CDG)

測量(liang)原理 4 至 6 mbar：混合 MEMS 壓電/CDG

測(ce)量(liang)原理(li) 6 至 1333 mbar：MEMS 壓(ya)電電阻膜片

精度 1×10^-5 至 9.99×10^-5 mbar：讀數的(de) 25 %

精度 1×10^-4 至 9.99×10^-3 mbar：讀(du)數的 5 %

精度 1E-2 至 800 mbar：讀(du)數的 0.5 %

精度 800 至(zhi) 1099 mbar：讀數的 0.25 %

精度(du) 1100 至 1200 mbar：讀數的(de) 0.5 %

氣壓(ya)測量范圍：300 至 1200 mbar

氣壓精(jing)度：+/- 0.5 mbar

大氣參考壓力輸出范圍(wei)：-1333 至 + 1333 mbar

真空(kong)溫度傳感器范圍(wei)：-20 至 + 85 ℃

真空溫度傳(chuan)感(gan)器精度：+/- 1.5 ℃

傳(chuan)感器溫(wen)度(du)傳(chuan)感器范圍(wei)：-20 至(zhi) + 85 ℃

傳感器(qi)溫度傳感器(qi)精度：+/- 1.5 ℃

模擬輸(shu)出分辨率：16 位 (150 µV)

模擬輸出更新率(lv)：124 Hz

響應時間：< 20 ms

溫度補(bu)償：+10 至 +50 ℃

固態繼電器設定點范圍（Abs值）：5×10^-6 至 1333 mbar（3.75×10^-6 至 1000 托(tuo)）

固態(tai)繼電器設定點(dian)范圍（相對大氣(qi)壓）：-1,100 至(zhi)(zhi) + 500 mbar（-770 至(zhi)(zhi) +375 托(tuo)）

固(gu)態繼電器觸(chu)點額定值：50 V、100 mArms / mADC

固態(tai)繼(ji)電器觸點耐(nai)久性：無限制（無機械磨損(sun)）

固態繼電器認證(zheng)：UL 認可： 文(wen)件 E76270；CSA 認證(zheng)： 證(zheng)書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證(zheng)

工作環境溫度(du)：-20 至 +50 ℃

介(jie)質溫(wen)度：-20 至(zhi) +50 ℃

存儲環境溫度：-20 至 +80 ℃

烘烤溫(wen)度（非工作(zuo)）：+80 ℃

Max介質壓力：4 bar壓力_Abs

安裝位置：任意

防護等級，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度，IEC 68-2-38：98 %，無冷凝

電源電壓：12 至 30 VDC

功耗：350 mW（Max值）

反限性保護：是

過壓保護：是

內部保險(xian)絲：100 mA（可熱恢(hui)復(fu)）

外殼：SS 1.4307 / AISI 304L / 鋁 6061

真空工藝法蘭（介質潤濕）：SS 1.4307 / AISI 304L

工藝泄漏密封性：<1-10^-9 mbar-l/s

符合認證CE：EMC 指令(ling) 2014/30/EU

符合 RoHS：歐盟指令(ling) 2015/863

PVD 涂層、凍(dong)干終點檢測(ce)、負載(zai)鎖定(ding)控(kong)制(zhi)、熔(rong)爐熱處理(li)、皮拉(la)尼校準、質譜儀、掃描電子顯(xian)微鏡(jing)