iVacSens 系列真空傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器模塊是較(jiao)小的(de)(de)寬量程多功能組(zu)合真空計(ji)。iVacSens 具有全功能傳(chuan)統(tong)(tong)真空傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器的(de)(de)功能，校準后即(ji)可交付使(shi)用(yong)。它專(zhuan)為在真空下操作(zuo)的(de)(de)儀(yi)器（如(ru)質譜儀(yi)和(he)掃描電子顯(xian)微鏡）中的(de)(de)設備(bei)集成而(er)設計(ji)。iVacSens 基于創紀錄(lu)的(de)(de) SmartPirani MEMS 熱損耗傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器，與傳(chuan)統(tong)(tong)的(de)(de)線式 Pirani、對流規和(he)傳(chuan)統(tong)(tong) MEMS Pirani 相比，具有同(tong)類更好的(de)(de)性能、更寬的(de)(de)測(ce)量范(fan)圍和(he)更高的(de)(de)精(jing)度。SmartPirani 傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器技術(shu)與隔膜傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器相結(jie)合，可在 2 至 1,333 mbar范(fan)圍內進行不受氣體影響的(de)(de)測(ce)量。

測量(liang)范圍寬達 7 個 10

用(yong)于(yu)過程控制的 3 個數(shu)字設定點輸出

模擬電壓輸出

數字 UART 接口

數字 RS-485 接(jie)口

遠程零點調整

超緊湊設計

產地：丹麥

測量范圍：1x10^-6 至 13.33 mbar（7.5x10^-7 至 10 托）

測量原理 1x10^-6 至 13.3 mbar：MEMS Pirani 熱(re)導(dao)率

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5 mbar：讀(du)數的 25 %

精度 1x10^-4 至 9.99x10^-1 mbar：讀數的 5 %

精(jing)度 1.0 至 10 mbar：讀(du)數的(de) 30 %

磁滯 1x10^-3 至 9.99x10^-1 mbar：1 %

磁(ci)滯 1 至(zhi) 10 mbar：10 %

真空(kong)溫度傳感器范(fan)圍(wei)：-20 至 + 85°C

真空(kong)溫度(du)傳感器精(jing)度(du)：+/-1.5 °C

傳(chuan)感器溫(wen)度傳(chuan)感器范圍：-20 至 + 85°C

傳(chuan)感器溫(wen)度(du)傳(chuan)感器精度(du)：+/- 1.5 °;C

模(mo)擬輸出：0.2- 1.55 VDC (150 mV/decade mbar/torr)

模(mo)擬輸(shu)出分辨率：12 位

模擬輸出(chu)更新率：124 Hz

響應時間(jian)：<20 ms

溫(wen)度補償(chang)：+10 至 +50 °C

設定點范圍（ABS）：5x10^-6 至 13.33 mbar（3.75x10^-6 至 10 托）

設定點輸出(chu)高電(dian)平：>2.9 VDC

設定點輸出低電平：<0.4 VDC

Max設定點輸出(chu)源電流和灌電流：1 mA

工作環(huan)境溫度：-20 至 +50 °C

介質溫度：-20 至 +50 °C

存儲(chu)環境(jing)溫度：-40 至 +120 °C

烘烤溫度（非工作）：+120 °C

Max介質(zhi)壓(ya)力：10 bar （Abs）

安裝位置：任意

防護(hu)等級，EN 60529/A2:2013：IP 40

濕度IEC 68-2-38：98%，無冷凝

電源(yuan)電壓(ya)：+3.3 VDC 或(huo) 4-18 VDC

功耗(hao)：25 mW（Max）3.3 VDC 電(dian)源；95 mW（Max）4-18 VDC 電(dian)源

質譜儀、掃描電子顯微鏡、泄漏(lou)探測(ce)器、太空飛(fei)行系統、飛(fei)輪儲能、真空泵集(ji)成、閥門(men)集(ji)成