Wasco的(de)(de)Barracuda系(xi)列高(gao)純度(UHP)傳感器(qi)專(zhuan)為在苛刻的(de)(de)市場應(ying)用中(zhong)需要檢(jian)測腐蝕性介(jie)質(zhi)的(de)(de)應(ying)用而(er)設(she)計。這些傳感器(qi)非常(chang)適(shi)合檢(jian)測氣體(ti)或液體(ti)介(jie)質(zhi)，而(er)不會(hui)對過程介(jie)質(zhi)造成污染。該系(xi)列非常(chang)適(shi)合要求在高(gao)精度、嚴格公(gong)差應(ying)用中(zhong)檢(jian)測腐蝕性介(jie)質(zhi)的(de)(de)系(xi)統。

我們為下一代半導體加工設(she)備中的高腐蝕性(xing)環境設(she)計(ji)了(le)這(zhe)些傳感(gan)器。梭魚系列的額定應用周期超過10，000，000。梭魚擁有滿(man)足(zu)或超過SEMI F20 (UHP)的材料，臨界點(dian)蝕溫度性(xing)能> 35℃。所有傳感(gan)器都經過氦(hai)泄漏測(ce)試，達到每SEMI F1≤1 x 10-9標(biao)準立(li)方厘米/秒氦(hai)。

煤氣箱

IGS氣體面板

氣體分配系統

閥門歧管箱

蝕刻和沉積系統