VPM-5 SmartPirani 真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)傳感(gan)器基于新(xin)型(xing)技(ji)術，具有同類更(geng)好的(de)(de)性(xing)能(neng)(neng)，將熱(re)導(dao)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計的(de)(de)可用真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)測(ce)量(liang)(liang)范圍擴大了(le) 1-3 倍(bei)，從而(er)確(que)立了(le)新(xin)的(de)(de)性(xing)能(neng)(neng)標準(zhun)。SmartPirani 真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)測(ce)量(liang)(liang)傳感(gan)器采用 MEMS（微機電(dian)(dian)系(xi)統(tong)）傳感(gan)器技(ji)術，并(bing)結合了(le) Sens4 自(zi)身的(de)(de)新(xin)型(xing)數字信(xin)號(hao)處理(li)架構和創新(xin)測(ce)量(liang)(liang)算法。結合準(zhun)密的(de)(de)自(zi)動化制造和校準(zhun)流程(cheng)，這(zhe)(zhe)款產品(pin)可提供無懈可擊的(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)性(xing)能(neng)(neng)。通過集(ji)成(cheng) MEMS 隔膜傳感(gan)器，消除(chu)了(le)熱(re)導(dao)率真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)計在(zai)粗真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)范圍內眾(zhong)所周知的(de)(de)氣體依賴性(xing)，其精度性(xing)能(neng)(neng)可與更(geng)昂貴的(de)(de)電(dian)(dian)容式壓(ya)力計媲美。這(zhe)(zhe)一(yi)特性(xing)可確(que)保對真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)排氣過程(cheng)進行更(geng)準(zhun)確(que)的(de)(de)控制，并(bing)可防止(zhi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)系(xi)統(tong)過壓(ya)。

從 1.0E-6 到 1333  mbar，9 個分度的(de)超寬測量(liang)范(fan)圍

性價比高

氣體獨立測(ce)量范圍(wei)從 2 到 1 333  mbar

通過 USB 編程器輕松配置

0-10 VDC 可編程電壓輸出(chu)

數字 RS-232 或 RS-485 接口

引腳(jiao)和輸(shu)出(chu)與其(qi)他供應商的壓力表兼(jian)容

可選陶瓷或(huo)聚(ju)對二甲苯傳感器(qi)保護，用于(yu)腐蝕性應用

可選固態設(she)定點(dian)繼電器，用(yong)于外部(bu)控制

產地：丹麥

測量范圍（mbar）：1x10^-6 至 1333  mbar（7.5x10^-7 至(zhi) 1000 托(tuo)）

測量原理 1x10^-6 至 1.5 mbar：MEMS Pirani 熱(re)導率

測量原理 1.5 至 2 mbar：混合 MEMS Pirani / 壓電讀數(shu)

測量原理 2 至 1333 mbar：MEMS 壓電電阻膜片(pian)

精度 1x10^-5 至 9.99x10^-5：讀數的 25%

精度 1x10^-4 至(zhi) 7.99 mbar：讀數的 5%

精度(du) 8.00 至 99.9 mbar：讀數的 1%

精度 100 至 800 mbar：讀數(shu)的 0.5%

精(jing)度 800 至(zhi) 1099 mbar：讀數的(de) 0.25%

精度 1100 至 1333  mbar：讀(du)數(shu)的 0.5%

滯后 1x10^-3 至 10 mbar (IS019685:2017)：1 %

磁滯 10 至 1333 mbar（IS019685:2017）：0.1%

模擬輸出分辨率：16 位 (150 μV)

模(mo)擬(ni)輸出(chu)更新率：124 Hz

響應時間（ISO 19685:2017）：<20 ms

溫度補償：+10 至 +50 °C

固態繼電器設定點范圍：5x10^-6 至 1333  mbar（3.75x10^-6 至 1000 托(tuo)）

固態繼電器觸點額定值：50 V、100 mA_rms / mA_Dc

固態繼電器(qi)認證(zheng)：UL 認證(zheng)： 文件 E76270；CSA 認證(zheng)： 證(zheng)書 1175739；EN/IEC 60950-1 認證(zheng)

工作(zuo)環境溫(wen)度：-20 至 +50 °C

介質(zhi)溫度：-20 至 +50 °C

存儲環境(jing)溫度：-40 至(zhi) +120 °C

烘烤(kao)溫(wen)度（非工作）：+120 °C

Max ABS介(jie)質(zhi)壓力(li)：10 Bar

安裝位置：任意

防護等級(ji)，EN 60529/A2:2013：IP40

濕度：98%，無冷凝

電源電壓：12-30 VDC

Max功耗(hao)：240 mW

反極性保護：是

過壓保護：是

內部保險(xian)絲(si)：100 mA（可(ke)熱恢復）

分析儀器、半(ban)導(dao)體加工、真空爐、薄膜鍍膜、太(tai)空模擬和飛行