電(dian)子真空(kong)調(diao)(diao)節(jie)器(qi)允許通過(guo)計算(suan)機化(hua)指令信(xin)(xin)號進行(xing)真空(kong)控制(zhi)。命令信(xin)(xin)號先(xian)被發(fa)送到一個小型(xing)電(dian)子調(diao)(diao)節(jie)器(qi),該調(diao)(diao)節(jie)器(qi)會向圓頂負載(zai)式平衡桿真空(kong)調(diao)(diao)節(jie)器(qi) (EVR) 的(de)參考端口產生(sheng)先(xian)導信(xin)(xin)號,以控制(zhi)過(guo)程(cheng)壓力。
EVR系列是一種非減壓型真空(kong)調節器(qi),可對真空(kong)供應泵(beng)和工藝之間的(de)流量進行節流,以便將工藝真空(kong)準確控制到特定的(de)設定值(zhi)。
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