THYRACONT真空傳感器VSH系列
- 品 牌(pai)：THYRACONT
- 型 號(hao)：VSH系列
- 技術資料(liao)：
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產品(pin)介紹
VSH系列數字組合真(zhen)空傳感器測量從(cong)大氣壓(ya)到高真(zhen)空的絕對(dui)壓(ya)力(li)。
性能(neng)特點
- 寬測量范圍：寬范圍組合傳感器 Pirani / Bayard Alpert
- 準確：良好的準確性和可重復性
- 抗吹性：Bayard Alpert 具有抗吹性，釔涂層雙絲
- 堅固：長期測試證實了良好的使用壽命：高達 100,000 次沖擊排氣周期
- 長壽命：在較低壓力下開啟熱陰極可提高耐用性
- 智能
技術參數
- 測量原理：熱傳導皮拉尼/熱陰極 Bayard Alpert, dep.關于氣體類型
- 測量范圍：1000 - 5e-10 mbar (750 - 5e-10 Torr)
- max過載：4 bar
- 精度：1000 - 10 mbar: Approx. 30 % f. r., 10 - 1e-8 mbar: Approx. 10 % f. r.
- 重復性：10 - 1e-2 mbar: 2 %, 1e-2 - 1e-8 mbar: 5%
- 發射電流：9 µA、100 µA、1.0 mA、2.0 mA
- 脫氣方式：陽極歐姆加熱
- 反應時間：50 ms（發射電流切換<2s）
- 工作溫度：+5...+60°C (Profinet +5...+50°C)
- 儲存溫度：-40...+65°C
- 烘烤溫度：max法蘭處 180°C（電源關閉）
- 供電電壓：20 - 30 VDC
- 輸出信號：0 - 10 VDC, min. 10 k，測量范圍 1.219 - 8.6 VDC，log.EtherCAT、Profinet 除外
- 數字接口：RS485: 9,6 kBd to 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity EtherCAT, Profinet
- 開關點：2x 繼電器，無電位，49 VAC / 2 A，30 VDC / 2 A，max 60 VA，除了 EtherCAT、Profinet
- 真空連接：DN 25 ISO-KF (VSH87), DN 40 ISO-KF (VSH88), DN 40 CF-F (VSH89)
- 防護等級：高達IP54（SubD帶XB15SL05適配器）
- 重量：約 475克 (VSH88)
