VYPER 系列(lie)激光(guang)器(qi)(qi)(qi)是(shi)專為準(zhun)(zhun)分子激光(guang)退(tui)火 (ELA) 設(she)計的多(duo)光(guang)束(shu)高功率準(zhun)(zhun)分子激光(guang)器(qi)(qi)(qi)。高分辨率移動(dong)顯示器(qi)(qi)(qi)制造(zao)的高質量需(xu)求需(xu)要高品位低溫多(duo)晶硅(gui) (LTPS),該多(duo)晶硅(gui) (LTPS) 只能使用準(zhun)(zhun)分子激光(guang)器(qi)(qi)(qi)制造(zao)。
這(zhe)些激光器非(fei)常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和(he) LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器件。
準分子激光退火
脈沖激光沉積