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COHERENT準分子激光器TriVYPER

  • 品  牌:COHERENT
  • 型  號:TriVYPER
  • 技(ji)術資料:
  • 閱讀次數:1098

產品介紹

VYPER 系列(lie)激光(guang)器(qi)(qi)(qi)是(shi)專為準(zhun)(zhun)分子激光(guang)退(tui)火 (ELA) 設(she)計的多(duo)光(guang)束(shu)高功率準(zhun)(zhun)分子激光(guang)器(qi)(qi)(qi)。高分辨率移動(dong)顯示器(qi)(qi)(qi)制造(zao)的高質量需(xu)求需(xu)要高品位低溫多(duo)晶硅(gui) (LTPS),該多(duo)晶硅(gui) (LTPS) 只能使用準(zhun)(zhun)分子激光(guang)器(qi)(qi)(qi)制造(zao)。

這(zhe)些激光器非(fei)常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和(he) LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器件。

性能特點(dian)

  • 非常高的UV 功率,可實現高通量應用
  • 能量穩定性,確保高產量
  • EquiSwitch 同步提供低的抖動
  • 激光數據采集可實現過程控制
  • 密封和凈化的光束路徑,可實現穩定的長期運行
  • 用于控制和快速數據采集的以太網接口

技術參(can)數

產品尺寸

產(chan)品應用

準分子激光退火

脈沖激光沉積

 


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