自 1989 年以來,業界客戶一直信賴 SV120 系列產品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外,還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇,精度高,公差小。我們為半導體設備等高純度應用設計了這些開關。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準,所有開關的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
為(wei)半導體設(she)(she)備等(deng)高純度應(ying)用設(she)(she)計
不(bu)含任(ren)何彈性(xing)體或 O 形(xing)圈
符(fu)合SEMI F1 標準
氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec
SV120-3 設定點范圍(wei):1.6 - 25.0 inHg
SV120-5 設定點范圍:6.0 - 29.5 inHg
可提(ti)供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線
可(ke)提供(gong)其(qi)他配(pei)置帶 KF25 接頭和(he) 9 針
產地:美國
Max系統壓(ya)力(li):30.0 inHg
設定點(dian)范圍:1.6 - 25.0 inHg
設定(ding)點公差(cha):± 1.2 inHg
典型復位帶:1.0 - 4.6 inHg
潤濕元(yuan)件 接頭(tou):316L SS
膜片:17-7PH SS
使(shi)用壽命:≥ 1,000,000 次
防護(hu)等級:IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作(zuo)溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C
氣(qi)箱、臭氧系(xi)統(tong)、氣(qi)體(ti)分配系(xi)統(tong)、半(ban)導體(ti)設備(bei)