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WASCO真空開關SV120-3

  • 品  牌:WASCO
  • 型  號(hao):SV120-3
  • 技(ji)術(shu)資料:
  • 閱讀次數:932

產品介紹

自 1989 年以來,業界客戶一直信賴 SV120 系列產品的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外,還采用了全不銹鋼傳感器。SV120 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇,精度高,公差小。我們為半導體設備等高純度應用設計了這些開關。SV120 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準,所有開關的氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec。

性(xing)能特點

為(wei)半導體設(she)(she)備等(deng)高純度應(ying)用設(she)(she)計

不(bu)含任(ren)何彈性(xing)體或 O 形(xing)圈

符(fu)合SEMI F1 標準

氦氣泄漏測試值均為≤ 1 x 10-9 std cc/sec

選型指(zhi)南

SV120-3 設定點范圍(wei):1.6 - 25.0 inHg

SV120-5 設定點范圍:6.0 - 29.5 inHg

可選功能與配件

可提(ti)供其他配置帶 1/4" 面密封和飛線

可(ke)提供(gong)其(qi)他配(pei)置帶 KF25 接頭和(he) 9 針

技術參數

產地:美國

Max系統壓(ya)力(li):30.0 inHg

設定點(dian)范圍:1.6 - 25.0 inHg

設定(ding)點公差(cha):± 1.2 inHg

典型復位帶:1.0 - 4.6 inHg

潤濕元(yuan)件 接頭(tou):316L SS

膜片:17-7PH SS

使(shi)用壽命:≥ 1,000,000 次

防護(hu)等級:IP 65

泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作(zuo)溫度:-65 至 225 °F;-54 至 107 °C

產品尺寸

產品(pin)應(ying)用

氣(qi)箱、臭氧系(xi)統(tong)、氣(qi)體(ti)分配系(xi)統(tong)、半(ban)導體(ti)設備(bei)


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