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WASCO開關UHP169-31L2B-X/1601

  • 品  牌(pai):WASCO
  • 型(xing)  號:UHP169-31L2B-X/1601
  • 技術資料:
  • 閱讀次數(shu):117

產品介紹(shao)

UHP160 系列除采用全焊接結構外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法,去除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的理適配選擇,精度高,公差小。我們為更高純度應用(如半導體設備)設計了這些開關。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準,所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級潔凈(jing)室中制造和包裝(zhuang)。

性能特(te)點(dian)

全焊接結構

不銹鋼傳感器

處理腐蝕性介質

精度高,公差小

氦氣泄漏測試達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

100 級(ji)潔凈室中制造和包裝

選(xuan)型指南

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1767

WASCOINC UHP169-31W3A/1657

WASCOINC UHP169-31WV2B-X/9963

WASCOINC UHP169-31L2B-X/1601

技術(shu)參數

產地:美國

傳感器:3

Max系統壓力(li):30.0 inHg

設定點范圍:1.6 至 29.5 inHg

設定點公差:± 1.2 inHg

復位帶:1.0 至(zhi) 4.6 inHg

接(jie)頭材質:316 L SS

膜片材質:17-7PH SS 和 316L SS

使用(yong)周期:≥ 1,000,000 次(ci)

入口防護等級:IP 67

泄漏率:氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec

工作溫(wen)度:-65 至(zhi)(zhi) 225 ℉;-54 至(zhi)(zhi) 107 ℃

產品(pin)尺寸(cun)

產(chan)品應用(yong)

氣箱(xiang)、臭氧系統、氣體(ti)分配系統、半導體(ti)設備


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