UHP160 系列除采用全焊接結構外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法,去除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的理適配選擇,精度高,公差小。我們為更高純度應用(如半導體設備)設計了這些開關。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準,所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP160 系列(lie)在 100 級潔凈(jing)室(shi)中(zhong)制造和(he)包(bao)裝。
全焊接結構
不銹鋼傳感器
處理腐蝕性介質
精度高,公差小
氦氣泄漏測試達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
100 級潔(jie)凈室中制造和包裝
WASCOINC UHP169-31L2B-X/1767
WASCOINC UHP169-31W3A/1657
WASCOINC UHP169-31WV2B-X/9963
WASCOINC UHP169-31L2B-X/1601
WASCOINC UHP169-31W3B/3408
產地:美國
傳感器:3
Max系統壓力(li):30.0 inHg
設(she)定點范圍(wei):1.6 至 29.5 inHg
設定(ding)點公差:± 1.2 inHg
復位(wei)帶(dai):1.0 至(zhi) 4.6 inHg
接頭(tou)材質:316 L SS
膜(mo)片材質:17-7PH SS 和(he) 316 L SS
使用周(zhou)期:≥ 1,000,000 次
入口防護(hu)等級:IP 67
泄漏率:氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工(gong)作溫(wen)度:-65 至 225 ℉;-54 至 107 ℃
氣箱、臭氧系統(tong)(tong)、氣體分配系統(tong)(tong)、半(ban)導體設備