自 1989 年以來，行業客戶一直信賴 UHP160 系列的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外，還采用了全不銹鋼傳感器。UHP160 系列采用 Wasco 專有的制造方法，消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的開關，精度高，公差小。我們為高純度應用（如半導體設備）設計了這些開關。UHP160 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準，所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。UHP160 系列在 100 級潔(jie)凈(jing)室中制造和包裝(zhuang)。

適用于半導體設備(bei)等高(gao)純(chun)度(du)應用

不(bu)含任何(he)彈性體或 O 形(xing)圈(quan)

符合 SEMI F1 標(biao)準

所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

100 級潔凈室中制(zhi)造和(he)包裝

UHP160-3 設定點范圍：1.6 - 25.0 inHg

UHP160-5 設定點范(fan)圍：6.0 - 29.5 inHg

可提供其(qi)他表(biao)面安裝配(pei)置

可提(ti)供(gong)其(qi)他端面密封配(pei)置

產地：美國

Max系統壓力：30.0 inHg

設定點范圍：1.6 - 25.0 inHg

設(she)定點公差：± 1.2 inHg  

典型復位帶(dai)：1.0 - 4.6 inHg

潤濕(shi)元(yuan)件接(jie)頭：316L SS

膜片(pian)：17-7PH SS 和 316L SS

使用(yong)壽命：≥ 1,000,000 次循(xun)環(huan)

防護等級(ji)：IP 67

泄漏率：≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工作(zuo)溫度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C

表面(mian)安裝(zhuang)：帶 IGS

端面密封：1/4 " 外(wai)螺(luo)紋

氣(qi)箱、臭氧系統(tong)、氣(qi)體分配系統(tong)、半導體設備