UHP150 系列自 1989 年以來,具有客戶一直信賴的可靠性和性能。該系列除采用全焊接結構外,還采用了全不銹鋼傳感器。UHP150 系列采用 Wasco 專有的制造方法,消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇,精度高,公差小。我們設計的 UHP150 系列適用于半導體設備等高純度應用。UHP150 系列不含任何彈性體或 O 形圈。根據 SEMI F1 標準,所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec。UHP150 系(xi)列(lie)在 100 級潔凈室中制(zhi)造和包裝。
為(wei)超(chao) 高純應用(如(ru)半導體(ti)設(she)備)設(she)計
符合標準 SEMI F1
所有開關的氦氣泄漏測試均達到 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
在 100 級潔(jie)凈(jing)室內(nei)制造和包(bao)裝
UHP150-3 Max系統(tong)壓(ya)力(li):30 PSIG
UHP150-5 Max系統壓力(li):125 PSIG
UHP150-8 Max系(xi)統壓力:250 PSIG
UHP150-15 Max系統(tong)壓力:500 PSIG
可提供其他壓力范圍
可(ke)提供其他配(pei)置(zhi)表(biao)面(mian)安裝
可(ke)提供其(qi)他配(pei)置外螺紋(wen)端面密(mi)封
產地:美國
Max系統壓力:30 PSIG
設定點范圍(wei):1.0-30 PSIG
設定點(dian)公差:± 0.7 PSI
復(fu)位(wei)范圍:0.7-2.3 PSI
接頭:316L SS
膜片:17-7PH SS
使用壽命(ming):≥ 1,000,000 次(ci)
防護等級:IP 65
泄漏率:≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作溫度:-65至(zhi) 225 °F;-54 至(zhi) 107 ℃
表面貼裝:IGS
端(duan)面密封:1/4 " 外(wai)螺紋
氣(qi)箱、臭氧系統(tong)、氣(qi)體分(fen)配系統(tong)、半導體設備、氣(qi)體過(guo)濾(lv)系統(tong)