自1989年以來，客戶一直依(yi)賴UHP150系(xi)列的(de)(de)可(ke)靠性(xing)和性(xing)能。除了(le)全焊(han)接(jie)結(jie)構外，該系(xi)列還配(pei)備了(le)全不銹鋼傳(chuan)感器。UHP150系(xi)列采用了(le)沃(wo)斯科的(de)(de)專有制造方法，消(xiao)除了(le)所有泄(xie)漏路徑。該系(xi)列是處理(li)腐(fu)蝕性(xing)介質的(de)(de)好的(de)(de)開關，精度高，公差小。

我們為較高(gao)純(chun)度應用(如半導體設(she)備)設(she)計(ji)了(le)UHP150系(xi)列(lie)。UHP150系(xi)列(lie)不(bu)含(han)任何彈性體或O型圈。根據SEMI F1，所(suo)有開關都經過氦泄(xie)漏(lou)測試，達到(dao)≤ 1 x 10-9標準立方(fang)厘米/秒。UHP150系(xi)列(lie)在100級(ji)潔凈室中制造和包裝。

煤氣箱

臭氧系統

氣體分配系統

半導體設備

醫療設備

氣體過濾系統