UC8 系列采用 Wasco 專有的制造方法和 EIgiloy 隔膜。它具有高純度和高耐腐蝕性。其全焊接結構消除了所有泄漏途徑。該系列是處理腐蝕性介質的選擇，精度高，公差小。我們設計的 UC8 系列適用于下一代半導體加工設備中的高腐蝕性環境。UC8 系列的額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次。UC8 系列可提供滿足或超過 SEMI F20 UHP 要求的材料選項。根據 SEMI F1，所有開關的氦氣泄漏測試均達到≤ 1 x 10^-9 std cc/sec。

適用于下一(yi)代半導體加(jia)工(gong)設備(bei)中的高腐(fu)蝕性環境

額定 95B2 應用周期超過 2,000,000 次

經過氦氣泄漏測試

符合(he) SEMI F1 標準

泄漏量≤1 x 10^-9 std cc/sec

UC8-A：激活(huo)點范圍：50 至 1500 Torr（abs壓力）

UC8-G：激(ji)活(huo)點范圍：2 至 20 PSIG 壓力(li)表壓力(li)

可提供(gong)符合或超過 SEMI F20 UHP 要求的(de)材料(liao)選項(xiang)

可提供其他激活范圍

可提供更高的壓力

產地：美國

激(ji)活(huo)點范(fan)圍：50 至 1500 Torr（abs壓力）

復位帶：40 Torr + 啟動點的(de) 6 %（典型值）

激(ji)活點(dian)公(gong)差：± 15 Torr +2 %激(ji)活點(dian)（典型值）

耐壓：100 PSIG

爆(bao)破壓力：Min 1000 PSIG

潤濕元件

工藝接口(kou)：316L SS SEMI F20 UHP 兼容

隔(ge)膜：埃爾(er)吉洛伊Elgiloy

內(nei)表面(mian)處理(li)：5 Ra

預期(qi)壽命：≥ 2,000,000 次 95B2（取(qu)決于(yu)應用情況）

防護(hu)等級：IP 67（abs配置）

泄漏率：氦氣泄漏測試 ≤ 1 x 10^-9 std cc/sec

工(gong)作溫(wen)度：-20至 60 ℃（-4至 140 °F）

非(fei)操作溫度(du)：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）

氣(qi)箱(xiang)、IGS 配氣(qi)盤、配氣(qi)系(xi)統、閥組箱(xiang)體、蝕刻和沉(chen)積系(xi)統