自1989年以(yi)來，客戶一直(zhi)依賴SP120系(xi)(xi)(xi)列的(de)可靠性(xing)和性(xing)能。除(chu)了全(quan)焊接結構外，該系(xi)(xi)(xi)列還(huan)配備了全(quan)不銹鋼傳感器。SP120系(xi)(xi)(xi)列采用了沃斯科的(de)專有制造方(fang)法(fa)，消除(chu)了所有泄漏路徑。該系(xi)(xi)(xi)列是(shi)處理(li)腐蝕性(xing)介質的(de)好的(de)開關，精度高(gao)，公(gong)差小。

我們為半導體(ti)設備等高純度應用(yong)設計了這些(xie)開關(guan)。SP120系(xi)列不含任(ren)何彈性體(ti)或o型圈。所有開關(guan)都經過氦泄(xie)漏測(ce)試，符合SEMI F1的要求，氦泄(xie)漏率≤1×10-9標準立方厘米/秒。

煤氣箱

臭氧系統

氣體分配系統

半導體設備

醫療設備