一(yi)種用于波前控制的(de)多功能可變形反射(she)鏡系統。
流(liu)行的Multi-DM系(xi)列以易于使(shi)用的包(bao)裝提供復雜的像差(cha)補償。這種類型(xing)的系(xi)統具有137或140個準確(que)控制(zhi)的元件和低致動(dong)器(qi)間耦(ou)合(he),非(fei)常適(shi)合(he)廣(guang)泛的應用,包(bao)括顯微鏡(jing)、天文學、視網膜成像和激(ji)光束成形。
MEMS 可(ke)(ke)(ke)(ke)變(bian)形反射(she)鏡(jing)(jing)的架構可(ke)(ke)(ke)(ke)實現當(dang)今(jin)任何(he)可(ke)(ke)(ke)(ke)變(bian)形反射(she)鏡(jing)(jing)中快的響應時間,并且(qie)精度僅(jin)受(shou)電子(zi)設(she)備限(xian)制。我(wo)們的標準驅動(dong)器可(ke)(ke)(ke)(ke)對整個范圍進行14位控制,使我(wo)們的可(ke)(ke)(ke)(ke)變(bian)形反射(she)鏡(jing)(jing)具有(you)開箱即(ji)用的精度。如果需要更高的精度,可(ke)(ke)(ke)(ke)以(yi)使用更高的分辨(bian)率。
設計概念簡單(dan),但功能強大
工(gong)作溫度:-10C – 30C
儲存(cun)溫(wen)度(du):-10C – 80C
相對濕度:< 30%RH
鏡面涂(tu)層:鋁、金或保(bao)護(hu)銀
窗口:可提供AR涂層
遲滯:無
步長:亞納米(平均(jun)值)
表面類型(xing):連續(DM)
填充系(xi)數:>99%
表面(mian)形貌:<20nm RMS
執行器總數:140
整(zheng)個孔徑的致動器計(ji)數(shu):12
物(wu)理行程(cheng)(μm):5.5
波(bo)前行程 (µm):11.0
孔徑(毫米):4.95
間(jian)距(μm):450
產地:美國