FV50D XL 擴散器是通過(guo)小化負載鎖(suo)定排氣(qi)周(zhou)期時間來可靠(kao)地增加系統吞(tun)吐量的(de)(de)選擇。 這(zhe)款二代擴散器可以承受(shou)更(geng)高(gao)的(de)(de)工作壓(ya)力 (60 psig)，額(e)定循環次數為(wei) 100 萬(wan)次，從(cong)而大(da)大(da)提高(gao)了性能并降(jiang)低了擁有成本。 我(wo)們(men)的(de)(de) Chambergard系列產品可快速排放(fang)到大(da)氣(qi)中，而不會干擾腔室中的(de)(de)晶(jing)圓或向晶(jing)圓添加顆粒。 它(ta)們(men)將擴散器的(de)(de)流(liu)動特性與過(guo)濾器相結合，以提高(gao)吞(tun)吐量。 憑(ping)借我(wo)們(men)的(de)(de)全球基礎設施，我(wo)們(men)可以提供(gong) Chambergard 快速排氣(qi)擴散器，以滿足(zu)您(nin)在全球范(fan)圍內(nei)的(de)(de)需求。

額定循環次(ci)(ci)數為 1,000,000 次(ci)(ci)，設(she)計(ji)用于在更高(gao)的入口(kou)壓力下運行

緊湊型擴散器(qi)單元中的(de)燒結鎳技術可在所有應用(yong)中提供良好的(de)性能

從進(jin)入的(de)氣體中去除大于 0.0015 µm 的(de)顆粒，大限度地減少晶(jing)圓缺陷

易(yi)于安裝(zhuang)/改裝(zhuang)到(dao)現有工具中，大(da)限度地減少(shao)停機時間