Chambergard BGN 擴(kuo)散(san)器(qi)使用(yong)燒結鎳(nie)過(guo)濾器(qi)元(yuan)(yuan)件快(kuai)速(su)(su)擴(kuo)散(san)進入(ru)(ru)的(de)氣(qi)流，使負載鎖定和/或(huo)傳輸室(shi)以更高(gao)的(de)速(su)(su)度填充，而不會產生顆粒干擾或(huo)過(guo)度湍(tuan)流。 BGN 擴(kuo)散(san)器(qi)的(de)高(gao)保持性(xing)鎳(nie)元(yuan)(yuan)素可去除進入(ru)(ru)氣(qi)體(ti)中(zhong)的(de)亞微米顆粒污染物(wu)并迅速(su)(su)排放到(dao)大(da)氣(qi)中(zhong)，從(cong)而減少晶圓缺陷并縮短循環(huan)時(shi)間。 BGN 擴(kuo)散(san)器(qi)旨在滿足平(ping)板(ban)顯示器(qi)和 300 毫米工具客戶的(de)需求(qiu)，以提(ti)升效(xiao)率、縮短腔室(shi)排氣(qi)時(shi)間并提(ti)高(gao)產量。 憑(ping)借我(wo)們(men)的(de)全球基礎設施，我(wo)們(men)可以提(ti)供(gong) Chambergard BGN 快(kuai)速(su)(su)通(tong)風擴(kuo)散(san)器(qi)，以滿足您在全球范圍內的(de)需求(qiu)。

燒結(jie)鎳技術(shu)可(ke)在所有應用中提供良(liang)好(hao)的性能(neng)

設計(ji)能夠從進入(ru)的(de)氣體中去除(chu)大(da)于(yu) 0.0015 µm 的(de)顆粒，從而大(da)限(xian)度(du)地減少晶圓缺陷

易于安裝/改裝到現有(you)工(gong)具中，大限度(du)地(di)減(jian)少停機時間(jian)