低壓微波等離子體源

可擴展和緊湊的設計

大面積應用

高等離子體密度

高效率

低傷害

輕松適應定制系統

雙等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)的(de)(de)(de)組合可以用于(yu)獲得二維等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)陣列(lie)。單個源以及2個，4個和8個平行(xing)排(pai)列(lie)的(de)(de)(de)等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)可用于(yu)等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)輔(fu)助表(biao)面處理，如表(biao)面活化，蝕刻和沉積(ji)。雙等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)是不使用磁(ci)場的(de)(de)(de)直接微波等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)源。在(zai)簡化的(de)(de)(de)描述中(zhong)，它類似于(yu)由(you)微波激發的(de)(de)(de)反向發光管，雙等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)通常在(zai)約(yue)1000Pa至(zhi)10Pa的(de)(de)(de)低壓下操作(zuo)。由(you)兩個磁(ci)控(kong)管產生的(de)(de)(de)具有(you)2.45GHz頻率的(de)(de)(de)微波在(zai)兩端被(bei)饋送到(dao)等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)線中(zhong)。在(zai)外(wai)部低壓狀態下放電點火，隨著微波功率的(de)(de)(de)增加，等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)從沿(yan)著管的(de)(de)(de)兩端增長(chang)，并(bing)且形成軸向均勻(yun)的(de)(de)(de)等離(li)(li)(li)(li)(li)子(zi)(zi)(zi)體(ti)(ti)。