用于硅(gui)太陽(yang)能電池的(de)激(ji)光橢偏儀 緊湊(cou)型創新(xin)設備，旨在(zai)測(ce)量沉積在(zai)紋理(li)硅(gui)（單硅(gui)和(he)(he)多(duo)硅(gui)）襯底上的(de)抗反射涂層的(de)厚度和(he)(he)光學常數(shu)。可(ke)以(yi)(yi)輕松實現優(you)化的(de)入射角（12-90°），以(yi)(yi)獲得沉積在(zai)多(duo)晶結構晶圓(yuan)上的(de)薄膜的(de)大信(xin)號。金字塔結構可(ke)以(yi)(yi)定向(xiang)以(yi)(yi)獲得正(zheng)確的(de)測(ce)量值，同時將樣品牢固(gu)地保持在(zai)適當的(de)位(wei)置。

• 確定減反射涂層的薄膜厚度和光學常數（折射率和消光系數）
• 用于穩定性和自動校準的集成光學元件
• 微點聚焦光學元件，用于良好信號收集。
• 特別改裝的樣品架，適用于 156×156 mm 的樣品池尺寸。
• 在線集成，實現快速過程控制。
• 符合智能軟件標準。
• 樣品對準：用于手動傾斜和高度調整的大信號檢測。

• 測量波長：632.8 nm（氦-Ne激光）
• 樣品臺：兼容 156 × 156 mm
• 測角儀：55° - 90° 手動控制