壓力控制

該控制器可確保快速，準確的壓力控制。操作(zuo)LEARN功(gong)能只需(xu)啟(qi)動一次，系統參數(shu)是自動確定(ding)的。由于(yu)自適應算法的控制器連續適應于(yu)加工過(guo)程條件(jian)（氣體、氣體流量），從(cong)而確保在任何時候都有壓力控制。

位置控制

在位置控制模式下，閥板可(ke)以(yi)移動到任何(he)位置。

顯示

狀態和位(wei)置(zhi)是4位(wei)的數字顯(xian)示。

遙控操作

所述閥可(ke)以(yi)由主機計算(suan)機通(tong)過RS232、RS422、RS485、Logic、DeviceNet、以(yi)太(tai)網、現(xian)場總線(xian)(xian)、CC鏈路(lu)或EtherCAT的(de)接(jie)口(kou)進(jin)行(xing)控(kong)(kong)制(zhi)。 RS232接(jie)口(kou)與現(xian)場總線(xian)(xian)也有數(shu)(shu)字輸(shu)(shu)入(ru)以(yi)關閉(bi)和(he)打開所述閥。此外(wai)，數(shu)(shu)字輸(shu)(shu)出可(ke)用于開放和(he)關閉(bi)（閥的(de)狀態）。控(kong)(kong)制(zhi)通(tong)過邏輯控(kong)(kong)制(zhi)接(jie)口(kou)，通(tong)過數(shu)(shu)字以(yi)及模擬輸(shu)(shu)入(ru)和(he)輸(shu)(shu)出進(jin)行(xing)。

應用

半導體，FPD和工業(ye)過(guo)程，特別(bie)是化學氣相沉積系統。