LEAP 準分子激光器集高(gao)(gao)占空(kong)比輸(shu)(shu)出、高(gao)(gao)可(ke)靠性(xing)和低擁有成(cheng)本(ben)于(yu)(yu)一身。這使它們成(cheng)為各種高(gao)(gao)要求、高(gao)(gao)產能、高(gao)(gao)精(jing)度微(wei)處(chu)理任務的適配光源,從顯(xian)示(shi)器制造到超(chao)導磁帶(dai)的卷(juan)對卷(juan)制造,不一而(er)足。LEAP 激光器的波長為 193 nm、248 nm 或 308 nm,輸(shu)(shu)出功率高(gao)(gao)達(da) 600 W(脈沖能量高(gao)(gao)達(da) 1.25 J)。這種功率采用緊湊型封(feng)裝,易于(yu)(yu)集成(cheng)到工具或其他生產設備中(zhong)。
緊湊型(xing)工業設計,易于集成
按需脈沖,實現低成本高(gao)工作效率的激光升/降
高激光能量,用于快(kuai)速大面積加工
以(yi)太網接口,用于(yu)控制(zhi)和(he)快速數(shu)據采集(ji)
193 nm、248 nm 和 308 nm 波長,可對(dui)多種材料進行優(you)化加工
產地:美國
波長:193 nm
穩定能量范圍:200 至 250 mJ
Max 重復頻率:200 Hz
Max穩定(ding)平均功率(lv):50 W
1 sigma 能量(liang)穩定性:≤ 2 %
脈沖持續時間(FWHM)典型(xing)值(zhi)︰18 ns
光束尺寸(V x H,FWHM)典(dian)型值(zhi)︰25 x 13 mm²
發(fa)散(V x H,FWHM)︰≤4.5 x ≤1.5 mrad²
Max穩定能量下的(de)動態氣體壽命:20 百萬(wan)脈沖(chong)
電氣(qi):3 相,200/208 或 400 VAC,50/60 Hz
水冷(leng):8 至(zhi) 20 升(sheng)/分鐘;T=18 至(zhi) 21 ℃
重(zhong)量:860 kg(1896 磅)
機(ji)柜尺寸 (長x寬x高):2415 x 800 x (1090 ±10) mm;95.1 x 31.4 x (42.9 ±0.4) in
LLO - 激(ji)光(guang)剝(bo)離(li)(OLED 和 MicroLED)、PLD - 脈沖激(ji)光(guang)沉(chen)積、LDP - 激(ji)光(guang)直接圖案(an)化(hua)、微結構、LIFT - 激(ji)光(guang)誘導正向轉移(MicroLED)