7037 和(he) 7027 系(xi)列(lie)在線射頻功率(lv)(lv)傳(chuan)感器(qi)率(lv)(lv)先將可(ke)追溯的(de)(de)測量精度引入市場，適用于(yu)需要(yao)準確射頻功率(lv)(lv)測量的(de)(de)應(ying)用，例(li)如(ru)半導(dao)體、激光行業。BIRD先進(jin)的(de)(de) CW 和(he)脈沖(chong)傳(chuan)感器(qi)，大限度地(di)減少射頻工藝的(de)(de)可(ke)變(bian)性，改變(bian)等離子室(shi)與室(shi)的(de)(de)匹配，并為您(nin)的(de)(de)射頻傳(chuan)輸系(xi)統提供重(zhong)要(yao)的(de)(de)洞察力。借助 Bird 的(de)(de)校(xiao)準技術，可(ke)在整個(ge)(ge)動態范圍(wei)內(nei)保證(zheng)百分之0.5的(de)(de)精度，從而確保單元間的(de)(de)可(ke)重(zhong)復(fu)性并降低(di)過程可(ke)變(bian)性。無(wu)論您(nin)使(shi)用的(de)(de)是(shi) CW 還是(shi) Pulsed RF，這(zhe)兩種測量結果都會使(shi)用 Bird 的(de)(de)功率(lv)(lv)計自動顯示，無(wu)需切換模式。在每個(ge)(ge)脈沖(chong)內(nei)使(shi)用多達 4 個(ge)(ge)間隔(ge)自定(ding)義(yi)您(nin)的(de)(de)復(fu)雜工藝配方測量。

• 通過射頻發生器校準和驗證，這些高精度傳感器可確保射頻發生器輸出的可靠性。
• 使用 VPM3 記錄和分析來自實驗配方的射頻功率數據，以實現更簡化的工藝開發。
• 現場流程監控允許在運行時實時監控流程以檢測異常情況。
• RF 脈沖波形的時域分析提供了對高功率 RF 脈沖的更深入了解。

• 測量類型：CW 和多態脈沖射頻功率
• 阻抗，標稱：50 歐姆
• 駐波比范圍：1.0:1 至 2.0:1
• 插入損耗：<0.05 dB max
• 插入電壓駐波比：1.05 max
• 方向性：28 dB min
• 校準：NIST Traceable
• 射頻連接器：QC 7/16 DIN、N、HN、LC、QRM 和其他可根據要求提供
• 尺寸：6.0 英寸 x 1.9 英寸 x 3.7 英寸（155 毫米 x 50 毫米 x 95 毫米）不包括 QC 連接器
• 重量：小于 3 磅，1.4 公斤