平面(mian) XY 工作臺由稱為壓力器的移動元件(jian)組成,它(ta)在稱為壓板(ban)的特殊“華(hua)夫餅狀”表面(mian)上的無摩擦空氣軸承上滑動。
單平面(mian)上(shang)的兩軸 XY 運動(dong)
加速到 2g
速度 1 米/秒
高重(zhong)復性(xing) 3 µm
分辨率 1 µm
精(jing)度 10 至 25 µm
在單個(ge)壓板(ban)上(shang)具有(you)重(zhong)疊軌(gui)跡(ji)的多個(ge)強制器
安裝面朝上或倒置
低成本的雙(shuang)軸定位平(ping)臺