HORIBA高溫應用質量流量控制器SEC-8000 系列
- 品 牌：HORIBA
- 型 號(hao)：SEC-8000 系列
- 技術資料：
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產品介紹
概要
質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計是用(yong)來測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)或控(kong)制氣(qi)體(ti)(ti)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)一種設備。流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)一般分為體(ti)(ti)積流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)和(he)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，但是氣(qi)體(ti)(ti)的(de)體(ti)(ti)積易受到外界(jie)的(de)溫度和(he)壓(ya)力的(de)影響(xiang)，如需精確測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)，需不斷的(de)改變測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)條(tiao)件來配合不斷改變的(de)外界(jie)環(huan)境。而(er)(er)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)，是利(li)用(yong)測(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)氣(qi)體(ti)(ti)的(de)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)，而(er)(er)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)(liang)是不受外界(jie)的(de)環(huan)境的(de)影響(xiang)，從而(er)(er)可以提供(gong)高(gao)精度流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)檢測(ce)和(he)控(kong)制，且在半導體(ti)(ti)制造制程有廣泛的(de)使用(yong)。
特征
它是搭載有壓電(dian)閥、可在高(gao)溫(wen)環境(jing)中使用的質(zhi)量流量控制器。
適用(yong)于高(gao)溫(wen)：可滿(man)足(zu)150℃烘焙(bei)產品陣容中有可滿(man)足(zu)使(shi)用(yong)溫(wen)度的產品型(xing)號(hao)超清潔(jie)類型(xing)：接氣部(bu)全不(bu)銹(xiu)鋼構造最適于MOCVD用(yong)有機金屬材料、低蒸氣壓材料、腐蝕性氣體(ti)的流量(liang)控制
詳細參數(shu)
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SEC-8340SL 搭(da)載有(you)主體加溫加熱器 |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用(yong)溫度：80?100℃ |
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SEC-8340SM 本體加溫(wen)ヒータ搭載 |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8440LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用(yong)溫度：15?35℃ |
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SEC-8450LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8455LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：15?35℃ |
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SEC-8460LSL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用(yong)溫度(du)：15?35℃ |
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SEC-8440LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用(yong)溫度：35?60℃ |
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SEC-8450LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用(yong)溫度(du)：35?60℃ |
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SEC-8455LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8460LSM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通(tong)電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量(liang)程(cheng)) 使用溫度：35?60℃ |
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SEC-8440LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通(tong)電時：開(kai) |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使(shi)用溫度：60?80℃ |
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SEC-8450LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使(shi)用溫度：60?80℃ |
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SEC-8455LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：60?80℃ |
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SEC-8460LSH |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通(tong)電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
50/100 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使(shi)用溫(wen)度(du)：60?80℃ |
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SEC-8440SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時(shi)：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程(cheng)) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程(cheng)) 使用(yong)溫度：80?100℃ |
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SEC-8450SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使用(yong)溫度：80?100℃ |
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SEC-8455SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使用(yong)溫(wen)度：80?100℃ |
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SEC-8460SL |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫(wen)度：80?100℃ |
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SEC-8440SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通(tong)電時：開 |
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標準流量量程 |
5/10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用(yong)溫度：100?120℃ |
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SEC-8450SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
3/5/10 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使(shi)用(yong)溫度：100?120℃ |
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SEC-8455SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非通電時：開 |
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標準流量量程 |
10/20 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿(man)量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿(man)量程) 使用溫度：100?120℃ |
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SEC-8460SM |
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氣體接觸部材質 |
SUS-316L |
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閥門類型 |
NO: 非(fei)通(tong)電(dian)時：開 |
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標準流量量程 |
20/30/50 SLM |
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流量控制范圍 |
2?100％ F.S.(滿量程) |
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流量精度 |
±1.0％ F.S.(滿量程) 使用溫度：100?120℃ |
