VIV 真空隔離閥(fa)旨在與 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干(gan)式初級(ji)(ji)泵(beng)(beng)一起使用，是一種高(gao)電導(dao)、快速作用的高(gao)真空隔離閥(fa)，旨在防止蒸汽或(huo)顆粒從(cong)(cong)前級(ji)(ji)泵(beng)(beng)移動(dong)到工藝(yi)室 . 當(dang)(dang) VIV 關(guan)閉時(shi)，前級(ji)(ji)泵(beng)(beng)排氣(qi)。 當(dang)(dang)泵(beng)(beng)停止或(huo)停止時(shi)，VIV 可保護工藝(yi)室不(bu)被通風。 當(dang)(dang)前級(ji)(ji)泵(beng)(beng)重新(xin)啟動(dong)時(shi)，閥(fa)門將在 VIV 內的壓力(li)下降時(shi)緩(huan)慢打開，從(cong)(cong)而大限度地減少任(ren)何壓力(li)爆(bao)裂的影響。

• VIV 閥具有高傳導性
• 快速關閉動作
• 斷電保護
• 靈活的安裝選項
• 不限制主泵性能
• 防止蒸汽或微粒從前級泵遷移到工藝室
• 防止電源故障時工藝室排氣

• 關閉壓差:>200 mbar
• 開啟壓差:<200 mbar
• 開啟開關時間:<15s
• 用于合閘切換時間:<0.1s
• 響應時間切換時間:<0.05s
• 機身材質:鋁
• 密封材料:氟橡膠