On-Board IS 320FX 低(di)溫(wen)泵(beng)(beng)專為應對(dui)當(dang)今離(li)子注入工藝(yi)(yi)的(de)(de)(de)(de)挑戰而開發，可(ke)提(ti)供更(geng)(geng)高的(de)(de)(de)(de)氫氣泵(beng)(beng)送速(su)度(du)(du)和(he)(he)(he)容量(liang)，同(tong)(tong)時(shi)保持您(nin)對(dui) On-Board的(de)(de)(de)(de)所(suo)有質(zhi)量(liang)、性(xing)(xing)能和(he)(he)(he)可(ke)靠性(xing)(xing)優(you)(you)勢(shi) IS 320FE 低(di)溫(wen)泵(beng)(beng)。On-Board IS 320FX 低(di)溫(wen)泵(beng)(beng)旨(zhi)在提(ti)供高的(de)(de)(de)(de)氫氣真(zhen)空抽速(su)和(he)(he)(he)容量(liang)，以提(ti)高產品產量(liang)和(he)(he)(he)工具(ju)產量(liang)。 基于 Edwards 廣泛的(de)(de)(de)(de)低(di)溫(wen)泵(beng)(beng)設計知(zhi)識，該低(di)溫(wen)泵(beng)(beng)優(you)(you)于所(suo)有其(qi)他同(tong)(tong)等尺寸(cun)的(de)(de)(de)(de)泵(beng)(beng)，同(tong)(tong)時(shi)符(fu)合嚴格的(de)(de)(de)(de)準則(ze)。智能系統控(kong)制提(ti)供更(geng)(geng)好的(de)(de)(de)(de)工藝(yi)(yi)質(zhi)量(liang)、真(zhen)空一致(zhi)性(xing)(xing)和(he)(he)(he)正常運行時(shi)間(jian)，同(tong)(tong)時(shi)提(ti)供實時(shi)系統知(zhi)識以優(you)(you)化電機(ji)速(su)度(du)(du)和(he)(he)(he)低(di)溫(wen)溫(wen)度(du)(du)。針對(dui)不斷變化的(de)(de)(de)(de)熱/氣體負(fu)載條件的(de)(de)(de)(de)自動調整增強了(le)(le)真(zhen)空一致(zhi)性(xing)(xing)并縮短了(le)(le)晶圓(yuan)間(jian)的(de)(de)(de)(de)恢復時(shi)間(jian)。On Board IS 320FX 還可(ke)以針對(dui)工藝(yi)(yi)相(xiang)關涂層的(de)(de)(de)(de)堆積進(jin)行調整，而不會影響可(ke)靠性(xing)(xing)或生產力(li)。 

• 專為離子注入應用而設計
• 智能自調節技術
• 擁有成本更低
• 增加正常運行時間

• 氫氣容量:30L /40L
• 分頻器：300 Torr-L
• ISO 真空法蘭內徑：12.6 英寸（320 毫米）