XY 軸(zhou)載(zai)(zai)物(wu)臺(tai)(tai)，通過在手(shou)(shou)動載(zai)(zai)物(wu)臺(tai)(tai)上添加壓電輔(fu)助機構，可(ke)以進行 20nm 或更小的(de)微(wei)調(diao)(diao)。 非常適合(he)需要高分辨率位(wei)置調(diao)(diao)整的(de)手(shou)(shou)動平(ping)臺(tai)(tai)單元和系統。可(ke)提供(gong) 25x25、40x40、60x60mm 的(de)載(zai)(zai)物(wu)臺(tai)(tai)尺寸。

注：

安裝載物臺時(shi)，請注意(yi)不要(yao)讓(rang)千(qian)分尺支架受到震動。 否則，壓電(dian)輔助機構可能會損壞。

壓電輔助專用(yong)控(kong)制器（PASC）的電源(yuan)關閉時，壓電輔助的位(wei)置調整將改變(bian)，微調位(wei)置將移動(dong)。

• 壓電輔助平臺的專用控制器無需任何設置即可輕松進行微調。
• 表盤式旋鈕的微調即使與測微頭結合使用也可以毫無阻力地使用。
• 使用壓電輔助控制器（PASC）調整微調機構。壓電輔助平臺隨附一根壓電輔助控制器連接電纜 (2m)。

載(zai)物臺(tai)尺寸 [mm]：60×60

行程軸：XY 軸

粗調(diao)行程 [mm]：±6.5

精細驅(qu)動行(xing)程 [μm]：>30μm

千分尺位置：側面

行程/旋轉 [mm] ：0.5

千(qian)分(fen)尺可(ke)讀分(fen)辨率 [mm] ：0.01

壓(ya)電(dian)分辨率：<20nm

導向方式：延(yan)伸接觸球軸承導向

主要材料：鋁

涂層：黑色陽極氧化

負載能力 [N] ：49(5kgf)

行程精度/直線度 [μm] ：3

力矩容量max.：

間(jian)距(ju) [N?m] ：4.9

滾動 [N?m] ：4.9

偏航 [N?m] ：4.9

力矩剛度

間距 [″/N·cm] ：0.6

滾動 [″/N?cm] ：0.6

平行度 [μm] ：50

正(zheng)交(jiao)性 [μm] ：10

運行(xing)平行(xing)度 [μm] ：20

重(zhong)量 [kg] ：0.5