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ONTO光刻系統JetStep G45

  • 品  牌:ONTO
  • 型  號:JetStep G45
  • 技(ji)術資料:
  • 閱讀次數(shu):1242

產(chan)品介(jie)紹

JetStep G45 系(xi)(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)可(ke)(ke)滿足移(yi)動(dong)顯(xian)示行業的(de)(de)苛刻要(yao)求。該(gai)系(xi)(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)基于(yu)成熟的(de)(de)步進技(ji)術,將優(you)化(hua)的(de)(de)性能(neng)與(yu)良好的(de)(de)擁有(you)成本(ben)相結(jie)合。JetStep G45 系(xi)(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)在 >200mm 的(de)(de)視(shi)場直徑范(fan)圍內具有(you) <1.5μm 的(de)(de)分辨(bian)率能(neng)力。低(di)(di)(di)(di)失真光(guang)學結(jie)合高速運(yun)(yun)動(dong)使(shi)系(xi)(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)能(neng)夠(gou)實現<0.5μm的(de)(de)覆(fu)蓋。JetStep G45 系(xi)(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)放大光(guang)學器件(jian)允許(xu)使(shi)用 6 英(ying)寸(cun)標(biao)線片(pian)(掩模(mo)),與(yu)競爭技(ji)術相比,顯(xian)著降(jiang)低(di)(di)(di)(di)了加工(gong)成本(ben)。此外,該(gai)系(xi)(xi)(xi)(xi)統(tong)(tong)占地(di)面(mian)積小(xiao),可(ke)(ke)大限度地(di)降(jiang)低(di)(di)(di)(di)設施(shi)成本(ben),其無摩(mo)擦運(yun)(yun)動(dong)可(ke)(ke)減少磨損,從而降(jiang)低(di)(di)(di)(di)維護成本(ben)。綜合節省導致成本(ben)低(di)(di)(di)(di)廉(lian)的(de)(de)制造(zao)過(guo)程,降(jiang)低(di)(di)(di)(di)了資(zi)本(ben)支(zhi)出和擁有(you)成本(ben) (COO)。 

性(xing)能(neng)特(te)點

  • 自動放大控制增加了工藝窗口
  • 板載標線管理系統提供大利用率
  • 用于現場校準的機載計量包
  • 在每個曝光位置進行動態自動對焦,以自動調整面板拓撲上的焦點
  • 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷

技(ji)術參數

  • 分辨率達 1.5µm 的高保真投影鏡頭和照明系統
  • 行業標準的 6 英寸光罩格式,用于經濟的制造

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