JetStep G35 系統(tong)專為靈動(dong)性(xing)而設(she)計，利用一系列高(gao)(gao)(gao)性(xing)能(neng)投影(ying)鏡頭為平板(ban)顯(xian)示器(qi)(qi)(qi)制造商實(shi)現高(gao)(gao)(gao)分(fen)辨率(lv)成(cheng)像(xiang)(xiang)。Jetstep G35 系統(tong)是一款大批量制造成(cheng)像(xiang)(xiang)系統(tong)，適(shi)用于(yu)高(gao)(gao)(gao)達(da) 3.5 代的(de)顯(xian)示器(qi)(qi)(qi)。JetStep G35 系統(tong)可實(shi)現低至(zhi) 1.5µm 的(de)高(gao)(gao)(gao)分(fen)辨率(lv)成(cheng)像(xiang)(xiang)，并結合先(xian)進的(de)高(gao)(gao)(gao)分(fen)辨率(lv)顯(xian)示器(qi)(qi)(qi)制造所需的(de)配(pei)準和拼接(jie)精(jing)度。適(shi)用于(yu)高(gao)(gao)(gao)達(da)Gen 3.5尺寸(cun)的(de)平板(ban)顯(xian)示器(qi)(qi)(qi)應用的(de)高(gao)(gao)(gao)分(fen)辨率(lv)成(cheng)像(xiang)(xiang)。

• 自動放大控制增加了工藝窗口
• 板載標線管理系統提供大利用率
• 用于現場校準的機載計量包
• 在每個曝光位置進行動態自動對焦，以自動調整面板拓撲上的焦點
• 提供系統性能和故障排除反饋的板載診斷

• 行業標準的 6 英寸光罩格式，用于經濟的制造
• 低至 1.5µm 的高分辨率成像