可烘烤泄漏閥用于控制(zhi)氣體從外部(bu)源流(liu)入(ru)真(zhen)空(kong)系統。軟(ruan)金屬墊被壓在較硬的(de)金屬座上(shang),為準確的(de)氣流(liu)控制(zhi)創(chuang)造必要的(de)密(mi)封。
典型應用包括氬(ya)氣(qi)處理、濺射、系統吹掃、氣(qi)體控制和(he)激光回(hui)填
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