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KURT J LESKER矩形傳輸閥V70S Series

  • 品  牌:KURT J LESKER
  • 型  號:V70S Series
  • 技(ji)術(shu)資料:
  • 閱讀次數:1079

產品(pin)介紹(shao)

V70S 系列矩形閘閥采(cai)用創(chuang)新的雙氣(qi)缸設(she)計,與標準 V74 系列相比,占地面積更小(xiao)。該閥采(cai)用與 V74 相同的 L-Motion 機構,并具有可拆卸的頂蓋,便于(yu)閘門密封(feng)維護。

性能特點(dian)

  • 可拆卸閥殼蓋
  • 半標準應用(Semi E21-94、Semi E24-92、Semi E21.1-1296)
  • L-motion 連桿和執行器中無彈簧的雙換檔可實現更快、更平穩的驅動,同時降低振動
  • 閥蓋法蘭真空側的防塵密封,幾乎消除顆粒進入波紋管
  • 機械鎖定,因此在閘門行程結束時閥門鎖定到位
  • 焊接波紋管執行器密封
  • 閥蓋法蘭螺栓設計有保持器,以防止螺栓在拆卸時脫落

可選功能與配件

可定制尺寸

各種 O 型圈化合物(Kalrez、Chemraz 等)

技術參(can)數(shu)

產品(pin)尺(chi)寸

產品應(ying)用

等離子蝕刻(ke)、CVD、濺射沉(chen)積(ji)

太陽能電池板的制造

半導體加工

LCD/平板工藝

所有其他集群(qun)真空系(xi)統


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