KJLC 元件是(shi)具有(you)成(cheng)本效益的 RGA，是(shi)市場上(shang)更(geng)低的小(xiao)型(xing)可(ke)檢測分(fen)壓 (MDPP) 之一。

使用一個RGA，您可以(yi)輕松檢測(ce)到空氣(qi)泄(xie)漏、冷卻(que)水泄(xie)漏、泵中的(de)油回流、因溶劑清洗(xi)不當而留下的(de)氟和氯(lv)、先前樣(yang)品的(de)腔室污染以(yi)及（棘手的(de)問(wen)題）貫穿泄(xie)漏在供氣(qi)閥(fa)中。

• 6x10 Torr可檢測分壓 (MDPP) 與 EM
• 100 和 200 amu 選項
• 提供預建的 LabVIEW 驅動程序
• 訪問 API 命令以進行系統集成
• 具有成本效益的氣體分析
• 法拉第杯和電子倍增器選項
• 集成軟件、LabVIEW 驅動程序和對 API 協議的訪問

泄漏檢測

抽空和烘烤監測

氣體和污染物識別

真空系統診斷

過程監控