GPC3000壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)流(liu)量控制器(qi)主(zhu)要(yao)為電(dian)(dian)(dian)容壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)計提供電(dian)(dian)(dian)源（±15VDC），接收并顯示來(lai)自它(ta)的(de)壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)信號，連接節流(liu)閥，并使(shi)(shi)用(yong)PID或自整定(ding)(ding)功能控制壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)。其中，如(ru)果使(shi)(shi)用(yong)自整定(ding)(ding)功能，則通過(guo)(guo)檢測流(liu)入腔(qiang)室的(de)氣體量、泵速、閥位(wei)引(yin)起的(de)真空壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)變化等重(zhong)要(yao)參數(shu)來(lai)獲取壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)控制因素。如(ru)果用(yong)戶使(shi)(shi)用(yong)此(ci)功能來(lai)控制壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)，可以更快(kuai)地達到所需壓(ya)(ya)力(li)(li)(li)。內(nei)置兩個過(guo)(guo)程限位(wei)繼電(dian)(dian)(dian)器(qi)，幫助用(yong)戶設備過(guo)(guo)程。

• 作為一個選項，GPC3000 有一個PCB 卡，至多可連接4 個MFC，每個PCB 包含2 個通道（連接2 個MFC）。
• GPC3000 的設計非常方便且易于通過本地（前面板）、I/O 或RS-232 遠程（RS-485 選項）進行控制。

• 壓力輸入信號：標準：0-10 VDC
• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲
• 控制器重復性：±0.1% FS
• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培
• 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，FS 壓力
• 尺寸：1/2-機架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D