APC200是GPC3000的升級版(ban)，壓(ya)力(li)流量控制器基本為電容壓(ya)力(li)計供(gong)電（±15VDC），接收(shou)并顯示(shi)來(lai)自(zi)電容壓(ya)力(li)計的壓(ya)力(li)信號，連接節流閥，通(tong)過(guo)(guo)PID或自(zi)整定(ding)功能(neng)控制壓(ya)力(li). 它(ta)是一個控制裝置。其(qi)中，如果使用(yong)自(zi)整定(ding)功能(neng)，則(ze)通(tong)過(guo)(guo)檢測(ce)流入腔(qiang)室的氣體量、泵速、閥位引起的真空(kong)壓(ya)力(li)變化等重要參(can)數來(lai)獲取(qu)壓(ya)力(li)控制因素。如果用(yong)戶(hu)使用(yong)此(ci)功能(neng)來(lai)控制壓(ya)力(li)，可以更(geng)快地達到所需壓(ya)力(li)。內置兩個過(guo)(guo)程限(xian)位繼電器，幫助(zhu)用(yong)戶(hu)設(she)備過(guo)(guo)程。

• APC200 有一個PCB 卡，可以選擇至多連接4 個MFC，每個PCB 包含2 個通道（連接2 個MFC）。
• APC200 的設計非常方便且易于通過本地（前面板）、I/O 或 RS-232 / RS-485 遠程控制。

• 壓力輸入信號：標準：0-10 VDC
• 所需輸入功率：90-132 或 180-264 VAC，50/60 赫茲
• 控制器重復性：±0.1% FS
• 環境操作溫度：150℃ - 450℃
• 輸出功率：±15 VDC  ±5% @ 1.5 安培
• 模擬輸出信號：0-10 VDC 用于 0-100% 閥門位置和 0-10 VDC 用于 1-100%，FS 壓力
• 尺寸：1/2-機架包裝：88mm H x 241mm W x 225 D