為掃描(miao)儀(yi)系統(tong)(tong)和(he)(he)小型環境(jing)的(de)(de)(de)清理(li)提供先(xian)進(jin)的(de)(de)(de)二層保護(hu)。 如果需要額(e)外(wai)的(de)(de)(de)保護(hu)或(huo)沒有(you)空(kong)氣處理(li)系統(tong)(tong)，則可以(yi)化(hua)學(xue)凈(jing)化(hua)環境(jing)空(kong)氣。E2000 預過濾器外(wai)殼(ke)和(he)(he)空(kong)氣循環系統(tong)(tong)是(shi)我們市場的(de)(de)(de) OEM 掃描(miao)儀(yi)集(ji)成(cheng)過濾器系統(tong)(tong)的(de)(de)(de)自然(ran)延(yan)伸。 E2000 系統(tong)(tong)增強了對空(kong)氣中低分子量硅 (LMWSi) 和(he)(he)可冷(leng)凝有(you)機物的(de)(de)(de)鏡片(pian)污(wu)(wu)染(ran)的(de)(de)(de)保護(hu)。它滿足(zu) Nikon、ASML 和(he)(he) Canon photobay 環境(jing)規范(fan)并延(yan)長 OEM 掃描(miao)儀(yi)過濾器有(you)機物的(de)(de)(de)使(shi)用壽命。作為獨(du)立系統(tong)(tong)使(shi)用，E2000 系統(tong)(tong)可以(yi)通過再循環空(kong)氣和(he)(he)去除(chu)導致腐蝕(shi)和(he)(he)工藝問題的(de)(de)(de)空(kong)氣污(wu)(wu)染(ran)物來清潔設施。

選擇吸附(fu)化學(xue)物(wu)質以大限度地提高目(mu)標 AMC（空氣中的(de)分(fen)子污染(ran)物(wu)）的(de)容量

匹配現(xian)有的 OEM 掃描儀過濾系統

用于過濾小型設施的緊湊型獨立解決(jue)方案

適用于所有應(ying)用的輕(qing)松改造

符合 Nikon、ASML 和 Canon 環境(jing)規范(fan)