InVue GV148 液(ye)(ye)體(ti)濃(nong)度(du)(du)(du)監(jian)(jian)測(ce)器可(ke)(ke)在(zai)不干擾或中(zhong)斷(duan)過程(cheng)(cheng)的(de)(de)情況下(xia)，為化學(xue)(xue)品(pin)混合(he)、加(jia)標和(he)稀(xi)釋(shi)提(ti)(ti)供(gong)實時過程(cheng)(cheng)流體(ti)濃(nong)度(du)(du)(du)測(ce)量(liang)。GV148 液(ye)(ye)體(ti)濃(nong)度(du)(du)(du)監(jian)(jian)測(ce)儀集成在(zai)一(yi)個緊(jin)湊的(de)(de)高(gao)(gao)的(de)(de)純度(du)(du)(du)封裝(zhuang)中(zhong)，可(ke)(ke)提(ti)(ti)供(gong)經濟的(de)(de)高(gao)(gao)性能(neng)濃(nong)度(du)(du)(du)監(jian)(jian)測(ce)，從而提(ti)(ti)高(gao)(gao)生(sheng)產(chan)(chan)線(xian)前端 (FEOL)、生(sheng)產(chan)(chan)線(xian)后(hou)端 (BEOL) 的(de)(de)工藝效率 ) 和(he)子晶(jing)圓廠交付化學(xue)(xue)系統。 這種增(zeng)加(jia)的(de)(de)過程(cheng)(cheng)可(ke)(ke)見性導致更嚴(yan)格的(de)(de)過程(cheng)(cheng)控制、更高(gao)(gao)的(de)(de)晶(jing)片產(chan)(chan)量(liang)、減少的(de)(de)化學(xue)(xue)品(pin)使(shi)用(yong)和(he)減少的(de)(de)廢(fei)料。GV148 監(jian)(jian)測(ce)儀采用(yong)經過驗(yan)證(zheng)的(de)(de)折(zhe)射(she)率技術，封裝(zhuang)在(zai)緊(jin)湊的(de)(de)配(pei)置中(zhong)，可(ke)(ke)提(ti)(ti)供(gong)準確(que)和(he)可(ke)(ke)重復的(de)(de)液(ye)(ye)體(ti)濃(nong)度(du)(du)(du)測(ce)量(liang)方法。 在(zai)線(xian)傳感器可(ke)(ke)準確(que)測(ce)量(liang)過程(cheng)(cheng)流體(ti)的(de)(de)折(zhe)射(she)率 (IoR) 和(he)溫度(du)(du)(du)。 然后(hou)使(shi)用(yong)該信(xin)息(xi)來(lai)計算過程(cheng)(cheng)流體(ti)濃(nong)度(du)(du)(du)。

使用(yong)反射指(zhi)數測量 CMP 漿料和非(fei)導電(dian)流體

帶有集成電(dian)子元件的小尺(chi)寸(cun)可大程(cheng)度(du)地(di)減(jian)小工具尺(chi)寸(cun)

HMI 軟件(jian)支持實時(shi)數據(ju)記(ji)錄、分析和定制

窗戶清(qing)(qing)潔(jie)端口可輕松訪問藍寶石窗戶進行(xing)清(qing)(qing)潔(jie)