帶有 288-connect軟(ruan)件包的(de) InVue CR288 濃度(du)(du)監測器(qi)可(ke)(ke)提供使用(yong)(yong)點(dian)化學品(pin)/混(hun)合(he)混(hun)合(he)、加標和(he)稀釋的(de)實(shi)時信(xin)息(xi)，而(er)不會干擾或中(zhong)斷過(guo)程(cheng)。 基于(yu) PC 的(de)圖形(xing)用(yong)(yong)戶(hu)界面(mian)和(he) LCD 顯(xian)(xian)示屏集(ji)成(cheng)了數(shu)據收(shou)集(ji)、分析和(he)現場校準以(yi)及(ji)(ji)方便、可(ke)(ke)擴展(zhan)的(de)數(shu)據界面(mian)和(he)采(cai)集(ji)選項(xiang)。 光(guang)學系統計算實(shi)時濃度(du)(du)和(he)溫度(du)(du)補償(chang)數(shu)據，所有這些都(dou)是為了提高生(sheng)產(chan)率(lv)。CR288 濃度(du)(du)監測器(qi)采(cai)用(yong)(yong)創新的(de)折(zhe)射(she)率(lv)技術，采(cai)用(yong)(yong)緊湊靈活的(de)配置。該測量(liang)基于(yu)過(guo)程(cheng)流(liu)(liu)體(ti)中(zhong)光(guang)的(de)折(zhe)射(she)，從而(er)產(chan)生(sheng)了一種準確和(he)可(ke)(ke)重復(fu)的(de)液(ye)體(ti)濃度(du)(du)測量(liang)方法。在(zai)線傳感器(qi)準確地測量(liang)折(zhe)射(she)率(lv)和(he)過(guo)程(cheng)流(liu)(liu)體(ti)的(de)溫度(du)(du)。該信(xin)息(xi)通過(guo)互連電(dian)纜傳輸到(dao)遠程(cheng)數(shu)字顯(xian)(xian)示單(dan)元 (DDU)。 DDU 使用(yong)(yong)此信(xin)息(xi)以(yi)及(ji)(ji)用(yong)(yong)戶(hu)定(ding)義的(de)特(te)性來計算過(guo)程(cheng)流(liu)(liu)體(ti)的(de)濃度(du)(du)。 DDU 在(zai)液(ye)晶顯(xian)(xian)示屏 (LCD) 屏幕上顯(xian)(xian)示折(zhe)射(she)率(lv)、溫度(du)(du)和(he)濃度(du)(du)。它還輸出 4 至 20 mA 和(he) RS-232 信(xin)號，可(ke)(ke)用(yong)(yong)作過(guo)程(cheng)控制器(qi)的(de)輸入。

通過折射(she)率 (IoR)，這款具有成本效益的(de)高(gao)性能濃(nong)度(du)監測(ce)器可提高(gao)監測(ce) BEOL、FEOL 和次晶圓廠化(hua)學品混(hun)合和輸送(song)系統的(de)工(gong)藝效率

該裝置占地面積小(xiao)，可(ke)方便地直接(jie)安裝在工藝化(hua)學品(pin)中