Entegris 采(cai)(cai)用(yong)創(chuang)新的(de)(de)(de)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)技(ji)術解決當今流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)的(de)(de)(de)難(nan)題。InVue 集成(cheng)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)器(qi) (IFC) NT6510 專(zhuan)為超純液(ye)(ye)體(ti)(ti)化(hua)(hua)學(xue)品(pin)、去離(li)子水和(he) CMP 泥漿的(de)(de)(de)使用(yong)點(dian)(dian)化(hua)(hua)學(xue)品(pin)混合和(he)分配而設計(ji)(ji)(ji)。NT6510 控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)還設計(ji)(ji)(ji)用(yong)于有(you)效控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)產生氣(qi)泡的(de)(de)(de)介(jie)質，專(zhuan)為需(xu)要中(zhong)(zhong)低(di)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)的(de)(de)(de)應用(yong)而設計(ji)(ji)(ji)。它是(shi)目(mu)前較(jiao)小的(de)(de)(de) InVue 集成(cheng)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)，為液(ye)(ye)體(ti)(ti)處理系統節省了(le)寶(bao)貴的(de)(de)(de)空間(jian)。我們(men)的(de)(de)(de) IFC 采(cai)(cai)用(yong)成(cheng)熟可(ke)靠的(de)(de)(de)壓差(cha)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)測量(liang)(liang)(liang)(liang)技(ji)術和(he)新型的(de)(de)(de)閉(bi)環過(guo)程控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)。可(ke)視化(hua)(hua)指示器(qi)可(ke)為預(yu)防性維護、故障(zhang)排除和(he)報(bao)警條(tiao)件(jian)提供診斷(duan)，使用(yong)戶能(neng)(neng)夠集成(cheng)更準確的(de)(de)(de)功能(neng)(neng)。閥座(zuo)和(he)隔(ge)膜的(de)(de)(de)設計(ji)(ji)(ji)可(ke)大限度地減少死體(ti)(ti)積和(he)流(liu)體(ti)(ti)剪切(qie)力，從而降低(di)工藝污染的(de)(de)(de)可(ke)能(neng)(neng)性。InVue IFC 的(de)(de)(de)潤濕(shi)部件(jian)采(cai)(cai)用(yong)氟(fu)化(hua)(hua)材料，是(shi)保(bao)護化(hua)(hua)學(xue)完整性的(de)(de)(de)適配選擇。此外，耐化(hua)(hua)學(xue)腐蝕的(de)(de)(de)非潤濕(shi)部件(jian)在(zai)惡劣的(de)(de)(de)化(hua)(hua)學(xue)環境中(zhong)(zhong)也能(neng)(neng)發(fa)揮優良的(de)(de)(de)性能(neng)(neng)。InVue IFC 采(cai)(cai)用(yong)雙聚四氟(fu)乙烯閥隔(ge)膜，用(yong)于流(liu)體(ti)(ti)密封(feng)和(he)污染保(bao)護。利(li)用(yong)電(dian)動閥和(he)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)計(ji)(ji)(ji)技(ji)術，封(feng)裝(zhuang)的(de)(de)(de)內部電(dian)子元件(jian)可(ke)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)控(kong)(kong)(kong)(kong)制(zhi)(zhi)(zhi)器(qi)的(de)(de)(de)所(suo)有(you)方(fang)面。這些(xie)裝(zhuang)置由設定點(dian)(dian)信(xin)號（例(li)如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以將流(liu)體(ti)(ti)流(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)保(bao)持在(zai)所(suo)需(xu)的(de)(de)(de)設定點(dian)(dian)。

與(yu)其(qi)他(ta)常用技(ji)術相比，在(zai)易產生氣泡(pao)的介質中(zhong)精度(du)高

內置壓(ya)力傳感(gan)器，可(ke)同時進行流量和壓(ya)力雙輸(shu)出

占地(di)面積小，節省空間，易于安裝

重復(fu)性高(gao)，可實(shi)現優良的過程控制

快速響應，實現準確(que)的分配率

LED 狀態和離散(san)報警輸出

產地：美國

潤濕部件材質：

閥(fa)體、閥(fa)膜： PTFE；

傳感器接口： CTFE 或 PFA；

主 O 形圈： Perfrez PXC Ultra

非(fei)潤濕部件：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯(zhi)和尼龍（除上述材料外）

工作范圍(wei)%：滿量程流量的 10 至 100

流(liu)量控制精度：± 全(quan)量程的 1 %（使(shi)用 23 °C [73 °F] 的去離子(zi)水校(xiao)準(zhun)）

重復性：± 0.5 % 滿(man)量程

壓力測量(liang)：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)

壓力精(jing)度：± 全量程的 1 %

工作壓力(li)：69 至 414 kPa (10 至 60 psig)

Min差壓要(yao)求：10 psi，差壓

輸出信號(hao)：兩(liang)個 4 至 20 mA 電(dian)氣隔離(li)輸出，一個用于(yu)流(liu)量，一個用于(yu)壓(ya)力

響應(ying)時間(jian)：< 3 秒

過壓(ya)限(xian)制(zhi)：690 kPa (100 psig)

過程溫度(du)：10 至 65 °C (50 至 149 °F)

電氣輸入：24 VDC（± 10 %），1.2 A

設定點(dian)輸入信號：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC

外殼：IP64

重量：約(yue) 1.8 kg（4.0 磅）

符合認證：CE

軟(ruan)件(jian)：基于 Windows 的界面，用于用戶設置、校(xiao)準、監控和數據收集(ji)

系統要求：Windows 7 或 10，8GB 內存（Min）

當(dang)前(qian)軟件版(ban)本 InVue TechTool 1.0.1.3

關(guan)鍵分配應(ying)用、化(hua)(hua)學(xue)品添(tian)加和混合、按需化(hua)(hua)學(xue)混合