VaporSorb系列混合化學空(kong)氣過濾(lv)器(qi)(qi)(qi)旨在為(wei) 22 納(na)米以下節(jie)點(dian)的先進半(ban)導(dao)體制造環(huan)境提(ti)供保(bao)護。 Entegris VaporSorb 過濾(lv)器(qi)(qi)(qi)有助(zhu)于降低高流量設(she)施(shi)應用中不需(xu)要的空(kong)氣分(fen)子污染 (AMC) 水平(ping)。 Entegris VaporSorb FAC 過濾(lv)器(qi)(qi)(qi)可針對任何類型的空(kong)氣處理裝置安(an)裝進行配置，并且特(te)別適合補充空(kong)氣 (MUA) 和(he)回風處理 (RAH) 應用。 Entegris VaporSorb FAC 過濾(lv)器(qi)(qi)(qi)使用我們廣泛的潔凈室環(huan)境水平(ping)數據庫設(she)計，以提(ti)供大的效(xiao)率和(he)污染物去除。

提供(gong)保護，防止強酸和弱酸以及(ji)有(you)機(ji)物和堿（如氨），減少晶(jing)圓缺陷，提高產量并延長(chang)設備正常運(yun)行時間

具有優化的(de)吸附(fu)劑(ji)混(hun)合(he)物(wu)的(de)特(te)定應用過濾器針對并去除每個工藝(yi)工具關(guan)注的(de)污染物(wu)，大限(xian)度(du)地減少介質浪費并延長使用壽(shou)命

任何(he) FFU、工(gong)(gong)具內、設備工(gong)(gong)廠接口(kou)或過(guo)程模塊安裝的靈(ling)活(huo)配置簡(jian)化了(le)安裝和(he)集成

Entegris 擁有的(de)過濾器制造為特(te)定于(yu)晶圓廠的(de)優化介質提(ti)供快速周轉