截(jie)止閥(fa)的主(zhu)要要求是其(qi)對任何回流事件的可靠和快(kuai)速的緊急隔離。257旨在提供靈敏的高速隔離功能,可靠地防(fang)止回流到制程腔體或(huo)管道系(xi)統的風(feng)險。
25.7 HV 快速關閉(bi)閥是流量控(kong)制(zhi)的(de)。沒(mei)有任何(he)子系統(傳感(gan)器和(he)執行器)的(de)直接操作設計提(ti)供了(le)高速隔(ge)(ge)離(li),具(ju)有低復(fu)雜性和(he)低故障風險。從最初的(de)回流脈沖到完全(quan)隔(ge)(ge)離(li)不到 10 毫(hao)秒。
作為一種解決(jue)方(fang)案,截(jie)止閥不給(gei)系統增加電導屏障。25.7 的特殊流量優化設計在(zai)這方(fang)面樹立了標準(zhun),在(zai)高電導和(he)快(kuai)速(su)隔(ge)離之間實現(xian)了平(ping)衡。
在(zai)氣(qi)流中(zhong)有副產品的(de)工藝中(zhong)使用(yong)時,例如:在(zai)前級應用(yong)中(zhong),快(kuai)速(su)關(guan)閉閥上的(de)任何污染(ran)物積累都會降低(di)電導,并可(ke)(ke)能對其隔離能力產生(sheng)負(fu)面影響。這一與工藝相關(guan)的(de)挑戰通過一種特(te)殊的(de)表面涂(tu)層來解決,該涂(tu)層可(ke)(ke)顯著減少(shao)大多數(shu)副產品的(de)積累。額外的(de)加熱選項可(ke)(ke)用(yong)于避免閥門表面的(de)工藝氣(qi)體冷凝。
25.7 HV 快速關閉閥(fa)的(de)尺寸(cun)為(wei) DN 50 - 160mm (2“ - 6”)。 閥(fa)體由不(bu)銹鋼制成。DN63 至 DN160 (2½“ - 6”) 的(de)標準法蘭為(wei) ISO-K,DN50 (2“) 的(de)標準法蘭為(wei) ISO-KF。
對于具有非常腐蝕性(xing)過程氣體的應用(yong),可(ke)以使用(yong) FFKM 密封件。