快(kuai)速關(guan)閉閥門的(de)主要要求是在出現空(kong)(kong)氣涌入的(de)情況(kuang)下能夠(gou)快(kuai)速可(ke)(ke)靠地做出反(fan)應。由于泄(xie)漏導(dao)致 UHV 或 XHV 環境的(de)損失，尤其是在加速器或儲存環等(deng)大容量環境中(zhong)，可(ke)(ke)能會(hui)導(dao)致污染方(fang)面的(de)重大問題(ti)，以及恢復所需真空(kong)(kong)水平所需的(de)努力。

75.2 UHV 快(kuai)速關(guan)閉(bi)閥系(xi)列(lie)可在(zai)壓力升高時通過(guo)快(kuai)速關(guan)閉(bi)反應保(bao)護真空度(du)。該(gai)系(xi)列(lie)在(zai) 10 毫(hao)秒(miao)以下（取決于閥門(men)直徑(jing)）以很快(kuai)的速度(du)關(guan)閉(bi)真空管(guan)路。關(guan)閉(bi)后，閥門(men)密(mi)封 < E-9 mbarl/s。由于任何毫(hao)秒(miao)都可以防(fang)止損壞(huai)程度(du)，因此(ci) 75.2 設定了保(bao)護基準。

75.2 設計為閘(zha)閥(fa) (DN 40)，采(cai)用(yong)氣動驅動。標(biao)準(zhun)烘烤溫度高。閥(fa)體max. 200°C執行器為 50°C。閥(fa)蓋采(cai)用(yong)金(jin)屬密封(feng)，閘(zha)門密封(feng)采(cai)用(yong) FKM，焊接金(jin)屬波紋管(guan)密封(feng)饋通。

快速關(guan)閉(bi)(bi)閥由(you)(you)單獨的(de)控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)控(kong)制(zhi)(zhi)。控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)通過定(ding)期檢(jian)查系統(tong)、傳感器(qi)及其連接(jie)的(de)就緒狀(zhuang)態來確保快速關(guan)閉(bi)(bi)時間。該控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)是模塊化的(de)，可(ke)以針對不(bu)同的(de)閥門/傳感器(qi)布置進行(xing)配(pei)置。快速關(guan)閉(bi)(bi)閥的(de)狀(zhuang)態也由(you)(you)控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)提供(gong)遠(yuan)程輸出。反之亦(yi)然，閥門可(ke)以通過控(kong)制(zhi)(zhi)器(qi)上的(de)接(jie)口進行(xing)遠(yuan)程控(kong)制(zhi)(zhi)。

75.2 UHV 快速關閉(bi)閥系列已經在(zai)各種工藝條件下的加速器和儲存環設施(shi)中得到證明，已成為可靠(kao)的 UHV 和 XHV 系統保護的標準。