采用 L-Motion 技(ji)術(shu)的 053 Transfer Insert 特(te)別適用于蝕(shi)刻(ke)或 CVD 等腐蝕(shi)工藝。L-Motion 技(ji)術(shu)通(tong)過單(dan)軸氣動執行器提供閘(zha)門(men)的 L-motion。在這(zhe)種 L 運動中，閘(zha)板(ban)垂直移動到關(guan)閉位置，與閥(fa)體沒有任(ren)何(he)接觸，在最后的運動中，它被水平推(tui)到閘(zha)閥(fa)座上，密(mi)封件同時(shi)以完(wan)全相同的壓(ya)力接觸閘(zha)板(ban)座。這(zhe)不僅(jin)避(bi)免了任(ren)何(he)摩擦(ca)和(he)潛(qian)在的顆粒(li)產生，還(huan)大限(xian)度地減(jian)少了密(mi)封磨(mo)損。

為(wei)了進一步減少顆粒的產(chan)生和活化，閘門(men)配有(you)硫化密(mi)(mi)封(feng)件。這(zhe)是一種(zhong)比標準(zhun) O 型(xing)圈密(mi)(mi)封(feng)更(geng)可靠、更(geng)耐(nai)用的密(mi)(mi)封(feng)解決方案，盡管(guan)標準(zhun) O 型(xing)圈密(mi)(mi)封(feng)作為(wei)選(xuan)項提供。軸饋通采用高度耐(nai)用的金屬焊接波紋管(guan)密(mi)(mi)封(feng)。

為了(le)(le)確保閘(zha)門(men)的整個(ge)長度具有相同的密封水平，閘(zha)門(men)配備(bei)了(le)(le)一個(ge)特(te)殊的壓桿。該條保證了(le)(le)澆口(kou)每個(ge)區(qu)域的密封壓力(li)均勻分(fen)布(bu)。

在(zai)斷電的情(qing)況下，05.3可以氣動鎖定(ding)在(zai)關(guan)閉位置。

帶 L-Motion 的 05.3 轉換插件專(zhuan)為延長免維(wei)護操作而設計（≤ 3 百萬次循(xun)環(huan)，直(zhi)到(dao)第(di)一次服務）。

053 系列已安裝(zhuang)在各種半導體生產工藝(yi)中的(de)(de)數百個要求(qiu)苛刻的(de)(de)應用中，證明了其可靠(kao)性(xing)。053 系列具有(you)堅固的(de)(de)設計以及減(jian)少和易于維護的(de)(de)特點，在各個方面都令人信服。

• 在腐蝕性過程條件下可靠運行
• L-Motion 技術可避免粒子產生和激活
• 用于均勻澆口壓力分布的壓桿
• 波紋管密封軸饋通
• 延長免維護周期
• 平穩、低沖擊運動
• 正常運行時間長/性能不受限制
• 快速操作
• 運營成本低