168 大(da)型 HV 擺式(shi)隔(ge)離閥即使(shi)在惡劣的(de)工(gong)藝(yi)條件下也能提(ti)供可靠的(de)隔(ge)離性能。它非(fei)常(chang)適合大(da)流量應(ying)用中的(de)隔(ge)離要求，例如大(da)型涂層(ceng)或顯示(shi)器生產系統。因(yin)此，它提(ti)供 DN 400 和 500mm 兩種規格(ge)。168 閥門提(ti)供可選的(de) 3 位氣(qi)動(dong)或標準氣(qi)動(dong)，均為(wei)雙作用。

憑借其(qi)特殊的(de)(de)分(fen)體(ti)式設(she)計，無需(xu)拆(chai)卸管道連(lian)接或工藝室(shi)連(lian)接即可進(jin)行維護。其(qi)纖薄的(de)(de)設(she)計允(yun)許(xu)將(jiang) 168 直接安裝到制程腔體(ti)，從(cong)而消除了(le)例(li)如腔室(shi) - 閥門 - 泵連(lian)接中通(tong)常需(xu)要的(de)(de)體(ti)積。

憑借其(qi)堅固(gu)的設計(ji)以及多種(zhong)設計(ji)選項，168 系(xi)列易于集成到各種(zhong)真(zhen)空工藝中(zhong)。

168系列已在全球(qiu)數百個批(pi)量和(he)在線(xian)生產系統中安裝在各種工藝條(tiao)件(jian)下(xia)，已在各個方(fang)面(mian)證明(ming)了其性能。

• 大真空量的可靠隔離
• 在惡劣條件下也能提供可靠的性能
• 采用狹縫式機身設計，維護快捷方便
• 正常運行時間長
• 運營成本低
• 可根據工藝要求進行調整